Inhaltsverzeichnis
Werbung
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen
är
avsedd
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-V300 ICE-serien är turbomolekylära pumpar
för
höga
och
mycket
höga
halvledarindustrin. De kan användas för pumpning av alla typer
av gas eller gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av
vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
56000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V300 ICE-seriens pumpar, som
därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport
och förvaring av pumpen:
-
temperatur: från -20°C till +70°C
-
relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART -
metoden (se bruksanvisningen för styrenheten).
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta
inte
packmaterialet
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
för
yrkesmässig
användning.
vakuumtillämpningar
inom
VIKTIGT!
i
soporna.
Materialet
VIKTIGT!
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
INSTALLATION
Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från
atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
-
maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
-
temperatur: från +5°C till +35°C
relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
-
I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan "Technical information" för ytterligare
upplysningar.
Turbomolekylärpumparna i serien V300 ICE måste användas
med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9433, 969-
9533), och anslutas till en förpump (se schemat " Technical
information").
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska
anslutas till systemet.
är
15
BRUKSANVISNING
OBSERVERA
VIKTIGT!
87-900-897-01(C)
Werbung
Inhaltsverzeichnis
