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INFICON UL3000 Fab Originalbetriebsanleitung Seite 102

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7 | Warn- und Fehlermeldungen
Typ
Meldung
E306
Anodenspannung falsch
W310
Kathode 1 gebrochen
W311
Kathode 2 gebrochen
E312
Kathoden gebrochen
E340
Emissionsfehler
W342
Kathoden nicht
angeschlossen
W350
Suppressor nicht
angeschlossen
102 / 148
Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung
Der
Anodenspannungs-
Sollwert liegt außerhalb
des zulässigen
Bereichs
MSB defekt
Kathode defekt
Verbindung zur
Kathode unterbrochen
VI-Board oder MSB
defekt
Kathode defekt
Verbindung zur
Kathode unterbrochen
VI-Board oder MSB
defekt
Beide Kathoden defekt
Verbindung zur
Kathode unterbrochen
VI-Board oder MSB
defekt
Druck zu hoch mit
gealterter Kathode
Beide Kathoden defekt
während des
Selbsttests
Stecker der
Ionenquelle nicht
angeschlossen
Suppressorkabel nicht
angeschlossen oder
defekt
• Führen Sie eine Kalibrierung durch
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Prüfen Sie, ob die andere Kathode
eingeschaltet ist
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Prüfen Sie, ob die andere Kathode
eingeschaltet ist
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
UL3000-Fab-Betriebsanleitung-iina73de1-08-(1910)
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