Inhaltsverzeichnis
Werbung
9.5.2
4000 Std.-Wartung
Durchzuführende Arbeiten
Betriebsmittelspeicher der Turbomolekular-
pumpe TMH 071 ersetzen
(alle 2 Jahre)
Filter prüfen/ersetzen
Prüfung und Abgleich
Die 4000 Std. -Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer
anderen von INFICON autorisierten Person mindestens einmal jährlich durchgeführt
werden.
Der Betriebsmittelbehälter der Turbopumpe und das Öl der Vorpumpe müssen
unabhängig vom Erreichen einer Betriebsdauer von 4000 Std. mindestens einmal
jährlich gewechselt werden.
Hinweis: Das interne Helium-Testleck besitzt ein Zertifikat mit einer Gültigkeitsdauer
von 1 Jahr nach Auslieferung. Es wird empfohlen das Zertifikat durch die
INFCON GmbH jährlich erneuern zu lassen. Das interne Helium-Testleck
kann ausschließlich von der INFICON GmbH in Köln neu zertifiziert
werden.
Benötigte Materialien
• Betriebsmittelspeicher für TMH 071
• Ersatzfilterzelle für Lüfter
• Ersatzfilter für Flut- und Spülgasleitung
• Schalldämpfer für Auspuff (nur UL1000
• Filtereinsatz für Ölfilter.
Der Arbeitsaufwand für die Wartung beträgt ca. 3 Stunden.
Fab)
Best.-Nr.
200000577
200000685
200000683
20099183
200000694
Wartungsarbeiten
97
Werbung
Inhaltsverzeichnis
