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1.3.2
Technische Daten
1.3.2.1
Physikalische Daten
14
Allgemeines
Max. Einlassdruck
Kleinste nachweisbare Helium-Leckrate
•
im Vakuummodus (ULTRA)
•
im Schnüffelmodus
Maximale anzeigbare Helium-Leckrate
Messbereich
Zeitkonstante des Leckratensignals
(blindgeflanscht, 63 % des Endwertes)
Vorvakuumsaugvermögen (Luft)
Max. Saugvermögen (Helium) am Einlass (EN 1518)
•
im Vakuummodus
– GROSS Modus
– FINE Modus
– ULTRA Modus
Nachweisbare Massen
Massenspektrometer
Ionenquelle
Einlassflansch
Hochlaufzeit (nach dem Einschalten)
Vorsicht
Zum Erreichen des Bereiches mit der minimalen nachweisbaren Leckrate müssen
erst einige Bedingungen erfüllt werden:
•
Der UL5000 muss warm gelaufen sein
•
Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine
Vibrationen/Stöße).
•
Der Prüfling muss lange genug evakuiert worden sein (so dass sich
der Untergrund nicht weiter verringert).
•
Die Heliumuntergrundunterdrückung (ZERO) muss aktiv sein.
15 mbar
-12
5×10
mbar l/s (siehe
folgenden HINWEIS)
-8
< 5×10
mbar l/s
0.1 mbar l/s
12 Dekaden
<1 s
3
25 m
/h
(50 Hz)
30m³/h
(60 Hz)
8 l/s
20 l/s
>20 l/s
2, 3 und 4
180°
magnetisches
Sektorfeld
2 Kathoden;
Iridium/Yttriumoxid
DN 40 KF
4 min
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