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INFICON UL1000 Originalbetriebsanleitung Seite 95

Helium-dichtheitsprüfgerät
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Nr.
Angezeigte Meldung
W32 Vorverstärker-Temperatur ist
zu hoch. (< 60°C)
W33 Vorverstärker-Temperatur zu
niedrig. (< 2°C)
E34 24V Spannung auf MSV-
Karte ist zu niedrig!
E35 Anoden-Kathoden-spannung
is zu hoch!
E36 Anoden-Kathoden-spannung
ist zu niedrig!
E37 Führungsgröße
spannung zu groß.
E38 Suppressor-Potential
hoch.
E39 Suppressor-Potenzial
niedrig.
E40 Das Anodenpotenzial über-
schreitet den Sollwert um
mehr als 10%.
E41 Das Anodenpotenzial unter-
schreitet den Sollwert um
mehr als 10%.
E42 Sollwert des Anodenpoten-
zials ist zu groß!
E43 Kathodenstrom ist zu hoch!
MSV Cat-Heater I>>l
E44 Kathodenstrom ist zu niedrig! •
Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
Die Temperatur der Umgebung ist zu hoch.
Der Luftfilter ist verschmutzt.
Die Temperatur der Umgebung ist zu niedrig.
Der Temperatursensor ist defekt.
Signal MVPZN auf der MSV Platine ist aktiv. 24 V Spannung auf MSV-
Karte ist zu niedrig, U < 18,3 V.
Sicherung F1 auf der MSV Platine ist durchgebrannt.
24 V Stromversorgungsspannung fehlt.
Den UL1000 und UL1000 Fab ausschalten!
Die fehlende Spannung führt dazu, dass das Auspuffventil der
Drehschieberpumpe schließt, was wiederum zu einer Verunreinigung
des Vakuumsystems führen kann.
Referenzspannung UREF auf der MSV Platine XT7/1 ist zu hoch, U >
5 V.
Anoden-Kathodenspannung ist höher als 130 V.
MSV ist defekt.
Anoden-Kathodenspannung ist kleiner als 30 V.
MSV ist defekt.
Supressor-
Signal MFSZH auf der MSV Platine ist aktiv. Suppressorsignal Führungs-
größe ist zu hoch.
Suppressorspannung ist von einem Kurzschluss betroffen.
MSV ist defekt.
zu
Suppressorpotenzial ist größer als 363V.
MSV ist defekt
zu
Suppressor-Potenzial ist kleiner als 297 V.
MSV ist defekt.
Der Istwert der Anodenspannung überschreitet den Sollwert um 10%. Der
Sollwert kann im Servicemenü (unter „Info") angezeigt werden.
MSV ist defekt.
Der Istwert der Anodenspannung ist um 10% unter den Sollwert gefallen.
Der Sollwert kann im Servicemenü (unter „Info") angezeigt werden.
Lufteinbruch.
MSV ist defekt.
Signal MFAZH auf der MSV Platine ist aktiv.
Die Anodenspannung ist kurzgeschlossen.
Der Sollwert für die Anodenspannung ist zu hoch. Die
Anodenspannung ist auf 1.200 V begrenzt.
Signal MPKZH auf der MSV Platine ist aktiv. Kathodenstrom ist zu
hoch, I > 3,6 A.
MSV ist defekt.
Signal MPKZN auf der MSV Platine ist aktiv. Kathodenstrom ist zu
gering, I > 0,2 A.
MSV ist defekt.
Fehler- und Warnmeldungen
95

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Diese Anleitung auch für:

Ul 1000 fab

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