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Durchzuführende Arbeiten
Scrollkopf austauschen (Agilent TS 620)
Vorpumpe D16 überholen (nur UL1000)
Ventilblock zerlegen/reinigen
Ventildichtungen ersetzen
Filter prüfen/ersetzen
Vorbeugender Austausch der SplitFlow 80 nach 3
Jahren ohne Laufzeitbegrenzung! Siehe hierzu
9.5.5.
Prüfung und Abgleich
9.5.5
HInweise zur Wartung der SplitFlow 80
9.5.6
Beschreibung der Wartungsarbeiten
104
Wartungsarbeiten
Mit Erreichen der 16000 Betriebsstunden, ist die Lebenserwartung der verschieden
Vorpumpentypen erreicht. Das Scrollmodul der Agilent TS 620 muss getauscht
werden und einer Generalüberholung unterzogen werden. Für die D16 B im UL1000
ist ebenfalls eine Generalüber-holung anzuraten.
Benötigte Materialien
Scrollkopf für Agilent TS 620
Vorpumpe D16 B generalüberholt
Dichtungssatzventilblock
Dichtungssatz für Ventile
Ersatzfilterzelle für Lüfter
Ersatzfilter für Flut- und Spülgasleitung
Schalldämpfer für Auspuff (nur UL1000 Fab)
Filtereinsatz Ölfilter (10 Stck.) nur UL1000
Turbopumpe SplitFlow 80 aufgearbeitet
Der Arbeitsaufwand für die Wartung beträgt ca. 10,0 Stunden für den Fall dass die
Turbppumpe SplitFlow 80 getauscht wird.
Die Turbomolekularpumpe SplitFlow 80 ist zur Schmierung der Kugellager mit einem
Betriebsmittel gefüllt. Der Betriebsmittelspeicher muss unabhängig von der
erreichten Betriebsstundenzahl der Turbopumpe nach Ablauf von 3 Jahren
getauscht werden. Der Austausch des Betriebsmittelspeichers sollte von einem
INFICON Servicetechniker, oder einer von INFICON autorisierten Person durchge-
führt werden.
Unter extremen Belastungen oder beim Einsatz in unreinen Prozessen, müssen
kürzere Austauschintervalle gewählt werden.
Wird die Pumpe für länger als ein Jahr stillgesetzt, ist der Betriebsmittel-speicher vor
der Stilllegung zu wechseln.
Der vorgeschriebene Lagerwechsel für die SplitFlow 80 beträgt 4 Jahre, unabhängig
von der in diesem Zeitraum erreichten Betriebsstundenzahl der Turbopumpe. Der
Austausch der Pumpe nach 3 Jahren wird für die Kunden empfohlen, die eine 100%
Verfügbarkeit des Lecksuchers sicher stellen müssen. Die SplitFlow 80 wird in
diesem Falle durch eine aufgearbeitete Pumpe (R-Pumpe) ersetzt.
Veränderungen am UL1000/UL1000 Fab/UL1000 die über den Umfang der
normalen Wartungsmaßnahmen hinausgehen, dürfen nur durch geschultes Fach-
personal ausgeführt werden.
Best.-Nr.
200001665R
200000593
200000594
200000685
200000683
20099183
200000694
200003800R
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