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Verschmutzung
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Solange der Kaltkathoden-Messkreis nicht gezündet hat, gibt der Signalausgang
den reinen Pirani-Messwert wieder. Der Statusausgang (Pin 6, low) signalisiert
reinen Pirani-Betrieb.
Falls bei einem Druck p < 3×10
nicht erkennen, ob das Kaltkathodensystem gezündet hat.
Halten Sie die angeflanschte Messröhre unabhängig vom Druckbereich
ständig in Betrieb. Dadurch ist die Zündverzögerung des Kaltkathoden-
Messkreises vernachlässigbar (<1 Sekunde) und thermische Stabili-
sierungseffekte sind minimiert.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen
sind, sowie Verschleißteile (Heizfaden), fallen nicht unter die Gewähr-
leistung.
Die Verschmutzung der Messröhre ist abhängig von der Art der Prozessmedien,
sowie eventuell vorhandenen oder neu entstehenden Verunreinigungen und ihrem
Partialdruck. Dauernder Betrieb im Bereich 10
Verschmutzung und zu kurzen Standzeiten und Wartungsintervallen führen. Bei
dauernd tiefen Drücken (p < 1×10
gung erreichbar (Reinigung der Messröhre → 18, 21).
Eine Verschmutzung der Messröhre führt im Allgemeinen zu Abweichungen der
Messwerte:
•
Im Bereich der hohen Drücke (1×10
hohe Druckanzeige (Verschmutzung des Piranielements). Neuabgleich des
Pirani-Messsystems → 16.
•
Im Bereich der tiefen Drücke (p <1×10
zu tiefe Druckanzeige (Verschmutzung des Kaltkathodensystems). Bei starker
Verschmutzung treten auch Instabilitäten auf (Ablösen von Schichten in der
Messkammer). Bei Verschmutzung durch isolierende Schichten ist sogar ein
völliges Verlöschen der Gasentladung möglich (Anzeige "Underrange").
Das Maß der Verschmutzung kann in begrenztem Rahmen beeinflusst werden:
•
Durch geometrische Schutzmaßnahmen (Abschirmbleche, Krümmer) für sich in
gerader Linie ausbreitende Teilchen.
•
Durch gezielte Wahl der Messröhren-Flanschposition an einem Ort, wo der
Partialdruck der Verunreinigung minimal ist.
Bei Dämpfen, die sich im Plasma (z.B. des Kaltkathoden-Messsystems) ab-
scheiden, ist besondere Vorsicht geboten. Notfalls die Messröhre während der
Anwesenheit der Dämpfe abschalten.
-9
eingeschaltet wird, kann die Messröhre
-4
-2
mbar ... 10
-6
mbar) sind Standzeiten >1 Jahr bis zur Reini-
-3
mbar ... 0.1 mbar) ergibt sich eine zu
-3
mbar) ergibt sich im Allgemeinen eine
mbar kann zu starker
tina48d1-c
(2017-10)
MPG400-401.ga
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