Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Pfeiffer TPH 062
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer TPH 062
- Seite 1 Betriebsanleitung Operating Instructions Instructions de service (505)872-0037 idealvac.com TPH 062 / TPU 062 TPH 055 Turbomolekularpumpen Turbomolecular Pumps Pompe turbomoléculaire TPH 062 TPU 062 TPH 055 PM 800 260 BN/E (9702) N 3717...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Contents Table des matières Kurzanleitung (heraustrennbar) Abbreviated Instructions Instructions abrégées (détachable) (detachable) Généralités Allgemeines Indications importantes General Wichtige Hinweise Instructions relatives à la Important Information Sicherheitsinstruktionen sécurité Safety Instructions 1.2.1 Sicherheitshinweise zum 1.2.1 Instructions de sécurité pour le 1.2.1 Working with the Turbomole- Arbeiten mit der Turbomoleku- travail avec la pompe turbo-... -
Seite 3: Kurzanleitung (Heraustrennbar)
5.2). SWITCHING OFF the turbo pump: ABSCHALTEN der Pumpe: - Press the switch S1 on the TCP. If Pfeiffer backing Mise à l’arrêt de la pompe: - Schalter S1 am TCP drücken. Bei Pfeiffer pumps are used, the HV valve closes automatically - Appuyer sur le commutateur S1 de TCP. -
Seite 4: Instandhaltung
(see 6.2) . prescriptions applicables á (siehe 6.2). - Severe contamination: Contact the Balzers Service la manipulation du solvant - starke Verschmutzung: PFEIFFER-Service ver- (6.2). (voir 6.2) . ständigen (Abschnitt 6.2). - Encrassement important: avertir le service après- BEARING REPLACEMENT:... -
Seite 5: Allgemeines
Betriebsanleitung Operating Instructions Instructions de service für pour Turbomolekularpumpen Turbomolecular Pumps pompes turbomoléculaires TPH/TPU 062, TPH 055 TPH/TPU 062, TPH 055 TPH/TPU 062, TPH 055 1 Allgemeines 1 General 1 Généralités 1.1 Wichtige Hinweise 1.1 Important Information 1.1 Indications importantes Prüfen Sie sofort nach dem Auspacken, Please check immediately after A la réception de l’envoi, s’assurer au... - Seite 6 Fore vacuum flange Venting connection Cooling water connection Connection to electronic drive unit Bride de vide élevé Bride de vide primaire Raccordement de remise à l´air Raccordement de l´eau de refroidissement Connexion d’èlectronique d’èntraînement Fig. 1 Fig. 2 TPH 062 TPH 055...
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Seite 7: Sicherheitsinstruktionen
– Unklarheiten bzgl. Sicherheit, Bedie- – Les questions relatives à la sécurité, nung und Wartung können mit der au maniement et à la maintenance nächsten PFEIFFER-Vertretung oder peuvent être résolues avec le Tochtergesellschaft abgeklärt représentant ou la filiale PFEIFFER les werden. plus proches. -
Seite 8: Sicherheitshinweise Zum Arbeiten Mit Der Turbomoleku- Larpumpe
1.2.1 Sicherheitshinweise zum Arbeiten 1.2.1 Working with the Turbomolecular 1.2.1 Instructions de sécurité pour le mit der Turbomolekularpumpe Pump; Safety Information travail avec la pompe – Pumpe niemals mit offenem HV- – Never operate the pump with open turbomoléculaire Flansch betreiben. Verletzungsgefahr HV flange because this may cause –... -
Seite 9: Technische Daten
2 Technische Daten 2 Technical Data 2 Fiche technique Turbomolekularpumpe/Turbomolecular pump/Pompe turbomoléculaire TPH 062 TPH 062 TPH 055 TPH 055 TPU 062 Anschlußnennweite Nominal connection Diamètre nominal de of diameter raccordement Eingang Inlet Entrée DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K/... -
Seite 10: Enddruck
2.1 Enddruck 2.1 Final Pressure 2.1 Pression finale Unter dem Enddruck von Turbomole- According to DIN 28 428, the final Par pression finale des pompes kularpumpen wird nach DIN 28 428 der pressure of turbomolecular pumps is turbomoléculaires on entend, Druck verstanden, der in einem Meß- the pressure attained in a test dome conformément à... -
Seite 11: Saugvermögen
2.2 Saugvermögen 2.2 Volume Flow Rate 2.2 Capacité d’aspiration S[l/s] 10 3 10 2 TPH/U 062 TPH 055 10 1 10 0 10 -10 10 -9 10 -8 10 -7 10 -6 10 -5 10 -4 10 -3 10 -2 10 -1 10 o p 2 [mbar]... -
Seite 12: Vorvakuumpumpen
3 Vorvakuumpumpen 3 Backing Pumps 3 Pompes à vide primaire Als Vorvakuumpumpe empfehlen wir We recommend that you use the Comme pompe à vide primaire, nous die Drehschiebervakuumpumpe DUO 1.5 A rotary vane vacuum pump recommandons la pompe à vide DUO 1,5 A oder je nach Anwendung or depending on your application a rotative à... -
Seite 13: Splitterschutz
– Eléments pour le raccord du vide pré- schluß siehe Abschnitt 9, Zubehör. connection: see Section 9, alable: voir paragraphe 9, – Weitere Bauteile sind im PFEIFFER- Accessories. accessoires. Katalog ”Komponenten für die – Further components are listed in the –... -
Seite 14: Kühlung
Fig.8 Hochvakuumflansch Vorvakuumflansch Vorvakuumpumpe Flutanschluß Vorvakuumleitung Sicherheitsventil High vacuum flange Fore vacuum flange Backing pump Venting connection Fore vacuum line Safety valve Bride de vide élevé Bride de vide primaire Pompe à vide primaire Raccordement de remise à l’air Conduite du vide primaire Vanne de sûreté... - Seite 15 Kühlwasserversorgung aus dem Cooling water supply from the Alimentation en eau de Netz: mains: refroidissement par le réseau: Der Schmutzfänger 29 ist im Vorlauf The dirt trap 29 (if applicable) must be le piège à impuretés 29 doit être mis en und der Kühlwasserwächter 7 (TCW) installed in the supply system and the place dans la conduite aller et le...
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Seite 16: Luftkühlung
Um Korrosionsschäden zu vermeiden, To avoid corrosion damages, the Afin d’éviter des dommages dus à la sind folgende Anforderungen an das following requirements for the cooling corrosion, l’eau de refroidissement doit Kühlwasser einzuhalten: water must be met: répondre aux exigences suivantes: Wasser filtriert, mechanisch rein, Water filtered, mechanically clean, eau filtrée, mécaniquement pure,... -
Seite 17: Flutanschluß
Fig. 11 12 Halter 13 Screw 13 Boulon 13 Schraube 14 Spring washer 14 Rondelle à ressort 14 Federring 12 Holder 12 Support 51 Ventilator 51 Fan 51 Ventilateur 52 Schwingungsdämpfer 52 Damper 52 Amortisseur de vibrations 58 Schraube 58 Screw 58 Boulon 4.5 Flutanschluß... - Seite 18 TPH 055 TPH 055 TPH 055 Die Turbopumpe TPH 055 hat keinen The TPH 055 turbo pump has no La pompe turbo TPH 055 n’a pas de Flutanschluß. Sie muß HV-seitig venting connection and must be ven- raccord de remise à l’air. Elle doit être geflutet werden.
- Seite 19 Fig. 12 Flutanschluß TCF/TCV PVC-Schlauch Trockenvorlage TTV Flutventil TVF Venting connection TCF/TCV PVC hose Drier TTV Venting Valve TVF Raccord de remise à l’air TCF/TCV Tuyau en PVC Cartouche siccative TTV Vanne de remise à l’air TVF 4.5.1 Einsatz von Flutventilen bei 4.5.1 Use of Venting Valves for the 4.5.1 Utilisation de vannes de remise à...
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Seite 20: Elektrischer Anschluß Turbopumpe
4.6 Elektrischer Anschluß Turbopumpe 4.6 Electrical Connection of the Turbo 4.6 Branchement électrique de la Der elektrische Anschluß ist nach den Pump pompe turbo örtlich geltenden Bestimmungen Electrical connection must be made in Le branchement électrique doit être durchzuführen. In den Betriebsan- accordance with the valid local regu- effectué... -
Seite 21: Betrieb
5 Betrieb 5 Operation 5 Fonctionnement 5.1 Einschalten 5.1 Switching on Procedure 5.1 Mise en marche – Bei Wasserkühlung Kühlwasser ein- – With water cooling, start the cooling – En cas de refroidissement à l’eau, schalten und Durchfluß kontrollieren. water supply and check the flow. connecter l’eau de refroidissement et –... -
Seite 22: Heizen Der Turbopumpe
PFEIFFER-Vorvakuumpumpen fore-vacuum line. When PFEIFFER- conduite de vide primaire. Chez les schließt das Sicherheitsventil beim backing pumps are used, the safety pompes de vide primaire PFEIFFER-la Ausschal-ten der Vorvakuumpumpe valve closes automatically when the vanne de sûreté se ferme automa-tisch. -
Seite 23: Stillsetzen Der Turbopumpe
5.4 Stillsetzen der Turbopumpe 5.4 Shutting down the Turbo Pump 5.4 Arrêt de la pompe turbo Zum Stillsetzen der Turbopumpe über For extended shutdowns of the turbo Lorsque la pompe turbo doit être längere Zeit ist folgendes zu beachten: pump, the following must be observed: arrêtée pour une période prolongée, il faut veiller à... -
Seite 24: Wartung
6 Wartung 6 Maintenance 6 Entretien Achtung! Caution: Attention! Die Turbopumpe muß frei von Schad- The turbo pump must be free of harm- La pompe turbo doit être exempte de stoffen sein „ Wichtige Hinweise“ ful substances. Follow the instructions produits nocifs. -
Seite 25: Reinigung Der Turbopumpe
Medien oder liegt eine completely dismantled. For this, difficilement solubles ou de fortes extreme Verschmutzung vor, muß die “PFEIFFER Service” should always be salissures, la pompe turbo devra être Pumpe vollkommen demontiert called, to ensure troublefree complètement démontée. Dans ce cas, werden. - Seite 26 – Pumpe mit blindgeflanschtem Hoch- – Connect the pump with the high – Raccorder la pompe turbo avec les vakuumflansch an die Vorpumpe vacuum blank flange to a backing brides de vide élevé obturées à la anschließen und bis 10 -1 mbar eva- pump and evacuate to approx.
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Seite 27: Prüfen Des Antriebmotors
6.3 Prüfen des Antriebmotors 6.3 Testing the Drive Motor 6.3 Contrôle du moteur d’entraînement Hinweis: Please note: Remarque: Der Antriebsmotor der Turbopumpe The turbo pump drive motor can be Le moteur d´entraînement de la pompe kann mit Hallsonden oder mit Hall-IC’s equipped with Hall probes or Hall ICs. -
Seite 28: Prüfen Des Motors Tph/U
6.3.1 Prüfen des Motors TPH/U 062 6.3.1 Testing the Motor of the 6.3.1 Contrôle du moteur TPH/U 062 mit Antriebselektronik TPH/U 062 with TCP 121/380 avec l’électronique TCP 121/380 Electronic Drive Unit d’entraînement TCP 121/380 Achtung! Attention! Attention! Hallsondenspannungen sind nicht Hall probe voltages are not potential- Les tensions des sondes de Hall ne potentialfrei. - Seite 29 TPH/U 062 grau grey gris gelb yellow jaune schwarz black noir weiß white blanc blau blue bleu grün green vert rouge grün/ green/ vert/ gelb yellow jaune braun brown marron Fig. 19 Anschlußschema TPH/U 062 Wiring diagram TPH/U 062 Schéma de branchement TPH/U 062 1) Hallsensorschaltung 1) Hall probe switching 1) Circuit pour sondes de Hall...
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Seite 30: Bearing Change
Un changement des roulements à Ein Wechsel des motorseitigen Kugel- changes can be carried out by billes côté moteur est possible sur lagers ist vor Ort durch den PFEIFFER- PFEIFFER service technicians. place par le service après-vente Service möglich. PFEIFFER. -
Seite 31: Pièces De Rechange
Pumpe an Ihre nächste une réparation est nécessaire, veuillez PFEIFFER Servicestelle. expédier votre pompe à notre service Contact Addresses And Telephone après-vente PFEIFFER le plus proche Hotline Kontaktadressen und Service-Hotline Contact addresses and telephone Kontaktadressen und Ihre Service-... - Seite 32 Fig. 21...
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Seite 33: Pièces De Rechange Refroidissement À L'air
8.2 Ersatzteile Luftkühlung 8.2 Spare Parts for Air Cooling 8.2 Pièces de rechange refroidissement à l’air Ersatzteiliste/Spare parts list/Pièces de rechange Luftkühlung/air cooling/ refroidissement par air Fig. 22 Pos. Benennung / Title / Désignation Stück Item Pieces Pos. Pièces Satz Luftkühlung/Set of air cooling/ Jeu de refroidissement par air 115 V 50/60 Hz PM Z01 120... -
Seite 34: Accessoires
9 Zubehör 9 Accessories 9 Accessoires Bauteile zum Kühlen Cooling components Composants pour le refroidissement Bausatz für Luftkühlung Air cooling set Set de refroidissement 115 V, 50/60 Hz PM Z01 120 par air 230 V, 50/60 Hz PM Z01 121 Kühlaggregat TZK 400 Cooling Unit TZK 400 Système de... - Seite 35 Weiteres Zubehör Additional accessories Accessoires additionnels Antriebselektronik Electronic drive unit Electronique d´entraînement TPH/U 062 TCP 121 PM C01 475 TCP 380 PM C01 490 TPH 055 TCP 015 PM C01 593 Heizmanschette Heating jacket Chemise chauffante 115/230 V PM 043 443 -T Verbindungskabel Connecting cable turbo Câble de raccordement...