Werbung
Quicklinks
ARTHUR
PFEIFFER
Vakuumtechnik
Wetzlar
Postfach
1280
D-6334
Assiar
Tel. 064411802-1
Turbomolekurlarpumpe
Turbo-Molecular
Pompe turbo-moléculaire
Antriebs-Elektronik
Electronic
Commande électronique
Pumpstände
Pumping Units
Groupes de pompage
PM 800
075
GmbH
Pump
Drive
Unit
3. Ausgabe/3. Edition
OPERATING
INSTRUCTIONS
PFEIFFER
Ein Untemehmen der Gruppe
BALZERS
TPH 040, TPU 040
TCP
040
TSH 040, TSU 040
8308/N
2020
Werbung
Verwandte Anleitungen für Pfeiffer TPH 040
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer TPH 040
- Seite 1 Postfach 1280 Ein Untemehmen der Gruppe D-6334 Assiar BALZERS Tel. 064411802-1 Turbomolekurlarpumpe Turbo-Molecular Pump Pompe turbo-moléculaire TPH 040, TPU 040 Antriebs-Elektronik Electronic Drive Unit Commande électronique Pumpstände Pumping Units Groupes de pompage TSH 040, TSU 040 PM 800 3. Ausgabe/3. Edition...
- Seite 2 . 7 . 2 Cooling 7 . 2 Refroid±ssement Abschnitt t ion Section Techni sche Beschreibung Technical description Description technique Allgemein General PFEIFFER-Drehschteber- PFEIFFER rotary vane Pompe ä vide rotative vakuumpumpe DUO I .5 vacuum pump DUO 1 .5 palettes PFEIFFER Pumpgtandsteuerung...
- Seite 3 Einsatzbeispie— Description, Design Funda- Exemples sa— Leistungsdaten menials, Examples mppli— cult Caracté:is€igues tech— ca t ion Performance Da te PFEIFFER—Tu r bo.-nol. ekularpu:n— niques Porapes turbo—mo— per. enthäit Brose-hi-ire from PFEIFFER-Tu-rbo Molecu- Aécu1aire-PFEZFFER dans Pumps given t.he pamphlet PM 800 P F,.
- Seite 4 Abschnitt Section Section PFEIFFER-TURBO TPH 040, PFEIFFER-TURBO TPEI 040, TURBO-PFEIFFER 040, TPÜ mi t Antriebselek— with eI ec— avec ec tronique tronik d' or-trainement . ESET Fig. Hochvakuumflansch Antriebselektronik with high—vacuum flange Drive Electronic avec bride vide élevåe Commande ectronigue...
- Seite 5 Antriebeelektronik 1. 1.4 Drive electronic 1.1.4 Entrainement électro— nigue Für Antrieb F or dr ive con— Steuerung 040/ trol TPH 040/ Lientra±nement Ie régla— Antriebselek— drive 040/ tronik erforder— electronic required. fait | 1aide I 'entra±— 1 ich. ft-ir designed nement &lectronique...
- Seite 6 Zusatzgerät Antriebs— Appare complémentaire Accessory €0 elektronik electronic drive ur; a. t svstöme entrai— pour nemeat électronigue "I'CP 040 Interface Interface Interface ektronik electron-xc unit L— d entra:nement für cincn Conputeranschluß fitted with computer 61 ectronigue conGu pour einaerichEeE. connection adapter anchement ordina—...
- Seite 7 PFEIF— type backing pump press finale v age. PER-TURBO liegt used, ultimate pressure pour TURBO-P?EIFFER verwendetem Vorpumoensy stem, PFEIFFER TURBO rea- situe, selon sys+-ame folgenden Werten: ches lowing rates. ponpe pr ima ire utilis6, dans valeurs suivantes: i ±sendäruck flar.scl-_...
- Seite 8 Fig. Saugvermögen für Ab— D 6b i t volume flow rate pour häng igkeit vom Ängaugdruck function inlet fonction pression pressure Kurve Courbe Anschluß Curve avec c on— Kurve with connec— nexion —K schluß t Ion I SC) —K Courbe avec Curve with...
- Seite 9 DN 63 ISO-K DN 40 KF DN63CF t-- 535-4 eø11,5 ø95 —106 135_4 Ø3,6 24 a —348 139.7 Fig. Raccoräement vide élevé Hochvakuumflansch u igh—vacuum Connection vorvakuumilansch Br ide vide pr imaire Fore—Vacuum Flange u tan schl uß venting connection Br anchement commande &...
- Seite 10 6upbsr.Y a -auepuodsenoz qq. Vt oaz JaSL.:eVuoo —m aqr.J. ? as rue: •nod 6uTV00T,A as TUJa.7 ep a ap00iJ ep euued ep oul?as/.s obup"l} tasan53-: ) asoq -lag 6u3J r.i20üuy ( uOÄTta) a ; Je•tnuue au-tor (TY) asoF_ •sea 01-9, uoTa p.1003?Y 09/0g...
- Seite 11 I . 3 Instal I at Instal latior. Installation EINWEIS NOTE NOTE PFEIFFER-TURBO wird FER—TURBO TURBO-PFEIFFER mi € ölfüllung geliefert livrée avec charge supplied with requi— site filling. d 'huile. Blind flazsche — Che blind flanges high— ar.d fore—vacuum Hoch—...
- Seite 12 Einbau eines Si— ommandé monter "herhcitsventils with safety valve. vanne sécurité dans PFEIFFER backing pumps vorvakuumlel tung . Außordem canalisation vide equipped with in— Vorvakuumlei— or imaire. vanne sé— corporaEed safe valve. Feder ungskötper...
- Seite 13 Fig. Connexion vide él evå High vacuum connection Hochv urna 1113 oder He iz ung Heating Chauff Fore—vacuum connection Connexion vide imaire Vorvakuumanschl uß Flutanschluß Venting connection Connexion entrée Wasserkühl Anschl uß—Antr iebselek— Water cool Recroidissement tronik Connection dr ive Branch emen ment...
- Seite 14 X 5. fiche Only heating Klemmleiste kann n ur A la rag lette bornes X ne Heizung PFEIFEER- PFEIFFER-TCRBO con- peut etre branché nected terminal QORBO angeschlosscn werden. chauf f age TURBO- strip Anschluß einer Voroumoe connection...
- Seite 15 durch fehler-de Verrie— must restricted anchement doit etre restreinte QURBO—Pumpe I-znä exc eptions because & tan don né Rezipient durch öldämpfe T TJRBO—pump or chamber exceptions contaminated gut en d'un inc ident Vorpumpe verunrei— 1 absence ver rouil lage nigt werden können.
- Seite 16 Signal ausgänge Signal outputs Sorties signaux FIG. Fig. Fig. betriebssucherers Steue— dependable control Pour assu fiabilité rung Pumps tand— bzw. pumping unit commande groupe Anlagcnkomponenten eine components, control elec— pompage compo— 'jberwachung selektronik in— tronics been incorpo— sants instal I at ion, tegr iert, 2 Relais...
- Seite 17 R 45 Seitenwand abgekl appt S xde sheet dropped Plaque vers Seitenwand abgeklappt Side sheet dropped Plague. latérale pliée vers Fig. Antriebselektronik Electronic Drive Unit Commande él ectronigue TCP 040 Interface fiche ad ap— adapter plug Interface Adapterstek— Interface teur Ma 1 ns connection Branchement...
- Seite 18 Interface Interface Interface Zubehör kann An Interface adapter accesso ire, on peut mon— 04 0 Interface—Adapter built into dans eingebaut werden. accessory. adaptateur interface. This contact transmits contact transmet le s Dieser führt Signale signal from control s ignaux circuit Imprimå...
- Seite 19 — Switch pump heat— pousser bouton " Reset" He izman schette Heizung — Sur pompes possédant einschal chemise chauf fante PFEIFFER TURBO runs mettre marche chauf— Hochlauf PFEIFFER- au tomatical ly . time T URBO erfolgt automati sch. from starting...
- Seite 20 , Einar ingen p6nétraEion pours from backing pump öldämpfer. Vorvaku— vape d 'hulle en provenance from entering PFEIFFER umpumpe pompe pr ima Ire dans TGRBO. PFEIFFER backing TURBO Be i pumps used , the incor— TURBO-PFEIFFER. PFEIFFER—Vorpumpen schließt...
- Seite 21 El— Fl an sch hoher Luft— cooled surfaces, part 1— 1 ier sque TURBO— feucht igkeit können sich cular PFEIFFER TURBO PFEIFFER ouverte et •gue Kondeasate an den gekühlten open atmospheric | 1humidaté ambiante im— Flächen niederschl agen. humiditv high.
- Seite 22 den. Dies bedeutet, plug pins a4 and This dessous po int com— gesamten Zeitbe— mutation prérég means that relay out— reich Relaisausgang K2 remains closed du— peut court—circuitant geschlossen bleibt r ing entire per iod fiches d t entrée Abschalten An la—...
- Seite 23 seitenwand abgekl appt Side sheet dropped Plaque Iatérale pl iée abgeklappt Side sheet dropped Plaque latérale pliée Connexions fichables Plug connections: Steckverbindungen vers pompe TURBO TURBO pump TURBO-Pumpe Interface xn terface In terface vers circuit impr i— print final stage Print Endstufe mé...
- Seite 24 War tung Maintenance Entretien 1. 5.1 Ölwechsel . 5.1 change Changement d 'huile Pig. Fig. Fig. für PFEIFFER-TURBO PFEIFFER TURBO Hui le pour TURBO-PFEIFFER Fig. Joint annul aire rond O—r ing O—Ring Joint annul aire rond O—r i ng O-Ring...
- Seite 25 Dochtsy stem Schmie— wick system 1u— sy stame de mache pour rung vorvakuumseitigen brification 1 ubrif ication roul ement Kugel lagers (Be schrei— bearing fore—va— billes c6té vide pri— bung unter 1.3) cuum side (de scription un— maire (de scr Iption sous Liefe...
- Seite 26 schl ußflansch nach unten inlet flange pointing — Placer pompe vertica— passenden Behäl downward 1 ement, br ide raccor— stel — Fill Frigen preon dement vers basr dans — Frigen oder Freon into vessel until un recipient approprié Behälter fül fore—vacuum socket —...
- Seite 27 5 . 3 Dochtwechsel Exchange wick 1.5. 3 Echange mache Fig. 12 bis Fig. Fig. 12 to fig. Fig. 12 a fig. — DOChthäI unter — Unscrew wick — Dévisser support 1.5. beschr leben from pump de scri— mache 20 de pompe com—...
- Seite 28 Ie mache pr@E ä atre monté. aeuem Docht. built — Imprégner mache 12 et Impregnate wick — Docht Filzscheibe di sque feutre PFEIFFER-Öl felt disc with PFEIFFER TLOII. avec d'huile PFEIF- TLOII tränken FER TLOII. Laisser égout— drop rest Fig.
- Seite 29 1.6.1 Prüfung I. 6.1 Checking 1.6. L verification measu— Fig. 16 und Schaltpläne ring points 16 et schemas électri— PM 011 PM 011 Wiring Diagrams ques PM 011 —S Z ur Cberprü fung An— —S iebselektronik pour rechercher pannes muß das cerät ausgebaut order...
- Seite 30 TPH /TPU 040,170, 330, NPVS iTiTiiT PM 011 232 I TCP040, 300 6,3A F15, • 2 F 14 • 6,3A 110 - 240 50/60 011 234-S beschr leben Einsatz Antrlebselektronik TCP 040 nach 1.3.5, unter Abs at z electronic drive TCP 040 1.3.5 described...
- Seite 31 TPH / TPU 040,170, 330, 510 LABCDEHJKLMFGNPVS PM 011 232 TCP 040, F 16 6,3A F15: 110-240 011 269-S Einsatz Aner iebse1ekEronik nach 1.3.5 unter Absatz beschrieben electronic drive I. 3.5 descr i bed section Utilisation commande électronique TCP 040 selon I.
- Seite 32 1 . 7 Kühl Cool 1. 7 Re froidissement Reicht Konvektionsküh— convection cool refroidissement lung durch hohe Umge— suff icient rea— convection n est suf. bungstemperatur nicht aus , f Isant ä cause d' une tem— high ambient muß TPH/ TPÜ...
- Seite 33 Tous pläces nécessaires • requisite parts Alle er forderlichen Telle specified sind Ersatz teil I i— sont énumérés dans liste spare PM 800 unter d e s piéce rechange parts list PY. 800 5 sous numéro aufgeführt. under point 1.7. 2 Refroidissement 1.
- Seite 34 Montage am Pumpstanä Assembly pumping unit Montage au groupe de pom— oder page Fig. Fig. Fig. — Hal Schrauben — Screw support — Visser support avec Be ipack) nach an ye— screw (packed ( emballés sé— separa— gebenem Luft— Eely according parément) I r appareil...
- Seite 35 Abschnitt section Section PFEIFFER-TURBO-Pumpstände PFEIFFER-TURBO Pumping Croupes pompage TSiJ Onits TURBO-PFEIFFER Pumps tand Pumping Unit Groupe pompage TSEL 040 Techni sche Beschreibung 2 . 1 Technical description 2 . 1 DescriEtion technique 2. 1 . 1 Allgemein General 2. 1.1 Général...
- Seite 36 2. 1.2 PFEIFFER-Drehschieber- 2. 1.2 PFEIFFER rotary vane 2.1.2 Pompe vide rotative vakuurneumpe DUO 1.5 vacuurn pump DUO 1.5 palettes PFEIFFER vorvakuumpumpe ein— The rotary vane vacuum pump porape vide rotative ä gesetz€e Drehschiebervakuum— used backing pump dås— palettes d i—...
- Seite 37 2-1.5 CARACTERISTIQUES TECHNIQUES 2.1.5 TECHNISCHE OATEN 2.1-5 TECHNICAL DATA TSU 040 Anschlußnennweite E:ngang Dlamétre narnira' Entrée Nomir.al diameter I-iet DN 63 ISO -K DN 63 CF Ausqana Outlet Sortie ON 10 KF ICKE ICKF Otera•.ing r3nCC from Domaire dc travail mbar 1000 1000...
- Seite 38 7 mT pr esent homogenen Magnet fel de s suffisante tout au tour. radial direction Richtung radiale PFEIFFER TURBO, appropr i ate Feld- exi Ste champ mag— shielding mea sures have stärken über 7 mT sind ge—...
- Seite 39 heitsschädigenden Aus— hazards polluants effets no— wirkung begondere Bedeutung c ifs santé. belzume ssen When working with toxic nor squ Ion travail avec oeim Arbeiten m It toxischer- substances, always observe oroduits ques, Stoffen sind immer z u— thc. Ecrtinent pamphlets.
- Seite 40 Abscheider Filters Séparateur Be im Abpumpen rein Lu ft When pumpirig clean air, peut capter parfaitement können Vakuum— oils mists expel brouillard d thuile re— pumpe be stimmten Ar— eté pompe ä vide certain vacuum pump beltsbereichen ausgeseog— ranges dans certains domaines pres...
- Seite 41 HOChvakuum— placée bride vide um flange should re— flansch PFEIFFER-TURBO élev& TURBO-PFEIFFER erst anschluß— moved before vacuum sy— Iorsque enceinte fertiger Apparatur abgenom— stem ready connec— prate etre raccordée...
- Seite 42 FER-TÜRBO bzw. TPTJ rings TPH or TPU 040 rernplis us ine sind Werk erfor— quantité d thuile nécessaire. PFEIFFER TURBO pumps derlichen ölmenge versehen. factory. ling Pour pompe prima ire, Für Vorpumpe be f indet backing pump...
- Seite 43 UHV—Änsch1 uß erreicht 4.1). With blank—flan— I t enceinte (vair sujet PFEIFFER-TURBO nach connection 1. 4.1). Avec br ide u I — min. ihre Nenndrehzahl tra—vide fermée, TURBO— PFEIFFER TURBO reaches nominal speed after approx. PFEIFFER atteint bout Ile izen TURBO—...
- Seite 44 Crnents groupe Pumpstand—Kornponenten s Eructions pumping enthal unit components. pomp age. Betriebsmittel Mater Fluides moteurs ölTL011 für PFEIFFER-TURBO TLOII PFEIFFER TURBO Hui leu Oil pour TURBO— PFEIFFER Öl für Vorpumpe P3 oil backing pump Hulle pour pompe pr i—...