Spülgase; Pumpenbedienelemente; Einleitung - Edwards RV5 Betriebsanleitung

A652–01–882 Ausgabe S
4.1.3 Spülgase
Wenn Sie mit einer Inertgas-Spülung gefährliche Gase bis auf ein sicheres Niveau verdünnen,
müssen Sie sicherstellen, dass die RV3/RV5/RV8/RV12-Drehschieberpumpe bei einer Störung der
Inertgas-Versorgung abgeschaltet wird.
Sie müssen die nachstehenden Anweisungen befolgen und die unten aufgeführten
Vorbeugemaßnahmen ergreifen, um sicherzustellen, dass die gepumpten Gase nicht ihren
zündfähigen Bereich erreichen.
Schalten Sie die Inertgas-Spülung vor Prozessbeginn ein, um Luft aus der Pumpe und der Abgasleitung zu spülen.
Schalten Sie die Inertgas-Spülung nach Prozessende erst aus, nachdem alle verbliebenen zündfähigen Gase und
Dämpfe aus der Pumpe und der Abgasleitung gespült worden sind.
Falls Flüssigkeiten, die zündfähige Dämpfe erzeugen, in der Vorvakuumleitung der Pumpe vorhanden sind, sollte die
Inertgas-Spülung der RV3/RV5/RV8/RV12-Drehschieberpumpe ständig eingeschaltet bleiben, solange diese
Flüssigkeiten vorhanden sind. Zündfähige Flüssigkeiten können in der Vorvakuumleitung aufgrund von Kondensation
vorhanden sein, oder weil sie während des Prozesses in die Leitung eingebracht worden sind.
Wenn Sie die für die Verdünnung erforderlich Durchflussrate des Inertgases berechnen, müssen Sie dabei die maximal
mögliche Durchflussrate der zündfähigen Gase/Dämpfe berücksichtigen. Falls Sie beispielsweise einen
Masseflussregler einsetzen, um dem Prozess zündfähige Gase zuzuführen, müssen Sie für die zündfähigen Gase die
Durchflussrate ansetzen, die bei voller Öffnung des Masseflussreglers maximal möglich wäre.
Messen Sie kontinuierlich den Durchfluss des zur Spülung verwendeten Inertgases: Falls der Durchfluss kleiner ist als
erforderlich, müssen Sie die Zufuhr von zündfähigen Gasen oder Dämpfen zur Pumpe sofort unterbrechen.
Hinweis: Es wird empfohlen, weitere Informationen im Edwards-Handbuch „Sicherheit von Vakuumpumpen und
Vakuumsystemen" (Publikationsnummer P300-20-002) nachzuschlagen, das Sie von Edwards oder Ihrem
Lieferanten beziehen können.
4.2

Pumpenbedienelemente

4.2.1

Einleitung

Sie können den Betriebsart-Wahlschalter
Position 5) verwenden, um die Leistung der RV-Pumpe entsprechend Ihrer Anwendung zu optimieren. Die
Leistungscharakteristika der Pumpe bei jeweils verschiedenen Steuereinstellungen werden in Tabelle
dargestellt. Sie können die Position des Betriebsart-Wahlschalters und auch der Gasballast-Steuerung verändern,
unabhängig davon, ob die Pumpe abgeschaltet oder in Betrieb ist.
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WARNUNG
WARNUNG
(Abbildung 1, Position 11) und die Gasballast-Steuerung
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(Abbildung 1,
3 und 4