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Betrieb im Elektronenstoß- (EI) Modus
Sofern Sie noch nicht mit dem Abpumpen begonnen haben, sollte der
Vordruck unter 300 mTorr liegen, oder die Turbopumpe muss mit mindestens
80% ihrer Geschwindigkeit arbeiten. Die MSD- Heizungen bleiben solange
ausgeschaltet, wie die Diffusionspumpe kalt ist oder sich die Turbopumpe mit
weniger 80% ihrer normalen Geschwindigkeit dreht. Normalerweise liegt der
Vordruck unter 100 mTorr, oder die Geschwindigkeit der Turbopumpe liegt bei
100%.
Die MSD- Heizungen schalten am Ende des Abpumpzyklus ein und zu Beginn
des Entlüftungszyklus aus. Die angegebenen Sollwerte ändern sich durch das
Entlüften oder Abpumpen nicht – auch nicht, obwohl beide MSD- Zonen
ausgeschaltet sind.
5975 MSD Benutzerhandbuch
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