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Produktbeschreibung
Verwendung
Die Vakuumpumpen COBRA DS sind für die Verwendung im Bereich
der Mikroelektronik und vergleichbarer Bereiche ausgelegt.
Sie können zum Ansaugen von Gasen und Gasgemischen eingesetzt
werden.
WARNUNG
Bei der Anwendung giftiger, entflammbarer und/ oder explosiver
Gase, sicherstellen, dass das System in seiner Auslegung den
jeweils gültigen örtlichen und nationalen Sicherheitsvorschriften
entspricht und dass sämtliche gültigen Sicherheitsmassnahmen
befolgt werden.
Alle produktspezifischen Sicherheitsvorschriften müssen befolgt
werden.
Es dürfen keine festen Teilchen in die Vakuumpumpe gelangen. Bei
einem eventuellen Verfahrensfehler kann die Pumpe eine gewisse
Menge an Flüssigkeit ansaugen. Sollte die Pumpe Flüssigkeit angesaugt
haben, ist eine kurze Trockenzeit am Ende des Vorgangs notwendig.
Die zulässige Höchsttemperatur des eingesaugten Gases hängt vom
Ansaugdruck und von der Art der angesaugten Gase ab. Je niedriger
der Ansaugdruck (Pa), desto höher darf die Temperatur des
eingesaugten Gases (TGas) sein.
Man kann für Luft die folgenden Hinweise in Betracht ziehen:
– Pa > 50 mbar, TGas < 80°C
– Pa < 50 mbar, TGas < 200°C
Die Vakuumpumpe ist für den Einsatz in einer potentiell nicht
explosionsgefährlicher Umgebung vorgesehen.
Max. zulässige Anzahl von Starts pro Stunde: 6.
Was die Temperatur betrifft, so ist die Pumpe für einen Dauereinsatz
geeignet, bei jedem Druck welcher sich zwischen atmosphärischem
Druck und Vakuum-Grenzwert bewegt.
Die Vakuumpumpe ist dicht bis zum Vakuumgrenzwert.
Funktionsweise
Die COBRA DS 5161 A Schraubenvakuumpumpen stellen die
Kombination zwischen einer COBRA NS (DP) Vakuumpumpe mit
Kühlwasser- und Stickstoffkreislauf und einer
Wälzkolbenvakuumpumpe WY (MB) dar.
Die COBRA NS Schraubenvakuumpumpen funktionieren gemäss dem
Prinzip der Schraubenpumpen. Zwei parallel zueinander angeordnete
Schrauben (7) drehen sich entgegengesetzt im Pumpenkörper. Das
angesaugte Gas ist zwischen den Schrauben und dem Pumpenkörper
eingeschlossen. Es wird durch die Rotation der Schrauben bis zum
Ausstossgefördert, wo es abgegeben wird.
Die COBRA NS Schraubenvakuumpumpen werden von
wassergekühlten Motoren angetrieben.
Wälzkolbenpumpen WY arbeiten nach dem bewährten Roots-System.
Das heisst, zwei parallel gelagerte Rotoren (11) mit identischen Profilen
drehen sich gegensinnig im Gehäuse. Dabei wird das zu fördernde
Medium in den Raum zwischen Rotoren und Gehäuse eingeschlossen
und durch die Drehbewegung zum Auspuff transportiert und
ausgestossen. Durch die geometrische Form und durch die Anordnung
der Rotoren wiederholt sich dieser Vorgang viermal pro Umdrehung
der Antriebswelle. Durch die berührungsfreie Lagerung der Rotoren ist
im Arbeitsraum keine Ölschmierung erforderlich.
Wälzkolbenpumpen WY haben einen Spaltrohrmotor. Der Motor ist
wassergekühlt.
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Ölkreislauf
Aufgrund der Tatsache, dass die gesamte Funktionsweise ohne Kontakt
auskommt, ist kein Ölkreislauf innerhalb des Arbeitsbereichs
erforderlich.
Kühlung
Die Kühlung der Vakuumpumpe COBRA NS erfolgt durch
die Kühlflüssigkeit (Mischung aus Wasser und Glykol), die in die
–
Wasserkammern (6) im Zylinder und an der Endplatte des Zylinders
auf der B-Seite eingefüllt ist. Ein indirekter Kühlkreislauf wird mit
Hilfe einer Wasserpumpe realisiert, die an der Motor-Endplatte
montiert ist. Durch eine Flusskontrolle FCV wird der Fluss des
Kühlwassers geprüft.
Die Temperaturregelung TS 2 sendet ein Notsignal, wenn die
Temperatur des Kühlwassers höher als 100°C ist. Die
Vakuumpumpe wird nach dem Notsignal sofort anhalten.
einen Kühlwasserkreislauf direkt in der Enplatte der B-Seite des
–
Zylinders der COBRA NS Vakuumpumpe und in der Kühlplatten
der Wälzkolbenpumpen WY.
einen Kühlwasserkreislauf direkt am Motor der Wälzkolbenpumpen
–
WY und der COBRA NS Vakuumpumpen. Der Kühlwasserfluss ist
werksmässig auf 10 l/min eingestellt und kann mit dem Ventil
CWR 1 verändert werden. Der Kühlwasserfluss wird vom
Durchflussmesser CWM überwacht. Der Kühlwasserfluss stabilisiert
die Temperatur der Kühlflüssigkeit. Wenn der Fluss zu niedrig ist,
generiert CWM ein Warn- und später ein Alarmsignal.
HINWEIS: Die COBRA DS Vakuumpumpen werden im allgemeinen mit
dem Öl und der Kühlflüssigkeit schon in der Vakuumpumpe, aber ohne
Kühlwasser gesendet. Vor der ersten Inbetriebnahme der
Vakuumpumpe kontrollieren die verschiedenen Ölniveaus sowie das
Niveau der Kühlflüssigkeit. Bei Fehlen des ein oder anderen von diesen
Schmiermitteln, führen Sie bitte das Füllen durch (vertagen Sie sich
bitte auf die verschiedenen Füllkapitel). Nicht zu vergessen, die
Ernährung in Kühlwasser vor der ersten Inbetriebnahme zu verbinden.
Ein Funktionieren ohne das ein oder andere von diesen Schmiermitteln
kann die Vakuumpumpe beschädigen, zerstören.
Stickstoffsystem
Das Stickstoffsystem erfüllt zwei Hauptfunktionen
Stickstoff dient zur Verdünnung der Prozessgase. Stickstoff wird an
–
zwei verschiedenen Stellen in den Zylinder injiziert. Der
Stickstoff-Fluss, der über die mittlere Bohrung (9) injiziert wird, ist
auf 20 l/min voreingestellt und kann mit dem Ventil DGR 1 in
Abhängigkeit von der Applikation nachreguliert werden. Der
Stickstoff-Fluss, der über die Bohrung nahe der Endplatte (8)
injiziert wird, ist auf 40 l/min voreingestellt und kann mit dem
Ventil DGR 2 in Abhängigkeit von der Applikation nachreguliert
werden. Wenn der Stickstoffsfluss zu niedrig ist, sendet der
Flussmesser DGF ein Alarm-Signal an den PLC. Der Status der
Pumpe hängt dann von der Alarmfunktion ab, die der Anwender
aktiviert hat (werksmäbige Einstellung: keine, Pumpe arbeitet
weiter nach Alarmsignal).
Die Verdünnung verbessert die Funktionsdauer der Schrauben,
besonders beim Pumpen von korrosiven Gasen.
der Stickstoff wird als Dichtungsgas eingesetzt. Der Stickstoff wird
–
in die Zwischenkammer (5) im Deckel des Zylinders der NS Pumpe
eingespritzt um eine gute Dichtigkeit zu gewährleisten.
Optionale Funktionsweisen/ Einsatz
des verfügbaren Zubehörs
Das Sicherheitsventil (SV) verhindert einen Überdruck im
Ausdehnungsgefäss (EV), Ablassdruck: 6 bar.
Ein im Ausdehnungsgefässeingebauter Druckschalter (optional) mit
normalerweise geschlossenem Kontakt überwacht den Druck der
Kühlflüssigkeit. Dieser muss derart angeschlossen sein, dass das
Auslösen zum Ausschalten der Vakuumpumpe führt, wenn der Druck
einen Wert von 3 bar übersteigt.
DS 5161 A
0870772511 (De)
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