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Y-Version
Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen.
Vakuumpumpe ggf. aus der Anlage ausbauen.
Flanschöffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschließen.
Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch stellen.
E
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Verschlussdeckel an der Unterseite der Turbopumpe mit Spezialwerkzeug E he-
rausschrauben. Auf O-Ring achten.
Schmiermittelspeicher mit Hilfe einer Pinzette herausheben.
Porexstäbe (8 Stück) mit Hilfe einer Pinzette herausnehmen.
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48
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E
Filzscheibe im Schmiermittelspeicher Paket
Die Filzscheibe im Betriebsmittelspeicher Paket ist nur für besondere Servicearbeiten
notwendig und durch den Pfeiffer Vacuum Service auszutauschen.
Verunreinigungen von Turbopumpe und Verschlussdeckel mit einem sauberen,
fusselfreien Tuch entfernen. Keine Reinigungsflüssigkeiten verwenden!
Neue Porexstäbe (8 Stück) mit Hilfe einer Pinzette einsetzen.
Neuen Betriebsmittelspeicher bis zum O-Ring in die Turbopumpe einschieben.
Verschlussdeckel mit O-Ring einschrauben. Mit dem Verschlussdeckel wird der
Betriebsmittelspeicher in die richtige axiale Position gebracht.
7
6
Verschlussdeckel
7
Schmiermittelspeicher
7a
Porexstab
7b
Filzscheibe (nur für Ser-
vice)
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O-Ring
E
Spezialwerkzeug
PV M40 569
HINWEIS
Wartung / Austausch
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