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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
HIPACE 1500 C
Turbopumpe

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 1500 C

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HIPACE 1500 C Turbopumpe...
  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Lieferumfang Produkt identifizieren 3.3.1 Produkttypen 3.3.2 Produktmerkmale...
  • Seite 4 5.7.3 Elektrischen Anschluss herstellen Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte 6.2.4 Betrieb über Feldbus 6.2.5 Betrieb über Anschluss "E74" Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung...
  • Seite 5 Tab. 15: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 16: Verfügbare Ersatzteile Tab. 17: Zubehör | HiPace 1500 C Tab. 18: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 19: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 20: Technische Daten für HiPace 1500 C Tab. 21: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 5/66...
  • Seite 6 Abb. 24: Ausbau der Antriebselektronik Abb. 25: Ansetzen der Antriebselektronik Abb. 26: Befestigung der Antriebselektronik Abb. 27: Ersatzteile Abb. 28: Abmessungen HiPace 1500 C | DN 250 ISO-F Abb. 29: Abmessungen HiPace 1500 C | DN 250 ISO-K 6/66...
  • Seite 7: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
  • Seite 8: Piktogramme

    Zu dieser Anleitung Einzelner Handlungsschritt Ein liegendes gefülltes Dreieck kennzeichnet den einzigen Handlungsschritt einer Tätigkeit. ► Dies ist ein einzelner Handlungsschritt. Abfolge von mehreren Handlungsschritten Die numerische Aufzählung kennzeichnet eine Tätigkeit mit mehreren notwendigen Handlungsschritten. 1. Handlungsschritt 1 2. Handlungsschritt 2 3.
  • Seite 9: Abkürzungen

    Zu dieser Anleitung Verschlusssiegel warranty seal Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfernen eines Verschlusssiegels führt zum Verlust der Gewährleistung. Ist verdeckt, unterhalb der Antriebelektronik aufgeklebt. Hinweis Sperrgasanschluss Dieser Aufkleber beschreibt die Position für den ausschließlichen PURGE Anschluss von Sperrgas. Tab.
  • Seite 10: Markennachweis

    Zu dieser Anleitung Abkürzung Bedeutung im Dokument Temperatur (in °C) Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller) Überkopfversion Vorvakuumflansch, Vorvakuumanschluss Tab. 2: Verwendete Abkürzungen im Dokument 1.4 Markennachweis ● DeviceNet ® ist eine Marke von Open DeviceNet Vendor Association Inc. ● Profibus ® ist eine Marke von Profibus Nutzerorganisation e.V.
  • Seite 11: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 12 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen Schlag. Unsachgemäßer Anschluss der Netzversorgung führt zu der Gefahr berührbarer, spannungs- führender Gehäuseteile. Es besteht Lebensgefahr. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...
  • Seite 13 Sicherheit WARNUNG Gefahr von Schnittverletzungen an beweglichen, scharfkantigen Teilen bei Eingriff in den offe- nem Hochvakuumflansch Bei offenem Hochvakuumflansch ist der Zugang zu scharfkantigen Teilen möglich. Eine manuelle Rotation des Rotors vergrößert die Gefahrensituation. Es besteht die Gefahr von Schnittverletzun- gen, bis hin zum Abtrennen von Körperteilen (z. B.
  • Seite 14 Sicherheit WARNUNG Verbrennungsgefahr an heißen Oberflächen bei Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum Heizen für den Betrieb Die Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum Heizen der Vakuumpumpe oder zur Prozessoptimie- rung erzeugt sehr hohe Temperaturen an berührbaren Oberflächen. Es besteht Verbrennungsgefahr. ► Richten Sie ggf. einen Berührungsschutz ein. ►...
  • Seite 15 Sicherheit WARNUNG Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen Das Betriebsmittel und Teile der Turbopumpe enthalten möglicherweise giftige Substanzen aus den gepumpten Medien. ► Dekontaminieren Sie betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten. ► Verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen oder Umweltbelastungen durch entsprechende Si- cherheitsvorkehrungen.
  • Seite 16: Sicherheitsmaßnahmen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Seite 17: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...
  • Seite 18: Personenqualifikation

    ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 19: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
  • Seite 20: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Als Spannungsversorgung dient das integrierte Netzteil. Abb. 2: Aufbau HiPace 1500 C- und UC-Version 1 Hochvakuumanschluss Netzanschluss Relaisbox 2 Vorvakuumanschluss, DN 40 ISO-KF Sperrgasanschluss 3 Luftkühlung Netzanschluss "AC in"...
  • Seite 21: Produkt Identifizieren

    ● 2 Ringschrauben für den Transport ● Betriebsanleitung 3.3 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi-...
  • Seite 22: Transport Und Lagerung

    ► Beachten Sie die Eigenschaftskürzel auf dem Typenschild. ► Lassen Sie das Betriebsmittel ab, bevor Sie die Vakuumpumpe bewegen oder transportieren. ► Befüllen Sie die Vakuumpumpe erst nach der mechanischen Installation mit Betriebsmittel. Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Transportverpackung und die Original-Schutzdeckel aufzu- bewahren. Produkt sicher transportieren 1.
  • Seite 23: Transport In Vertikaler Raumlage

    Transport und Lagerung 4.1.1 Transport in vertikaler Raumlage HINWEIS Zerstörung der Vakuumpumpe durch Misachtung der typenspezifischen Raumlage Unzulässige Raumlagen führen zur Verschmutzung der Vakuumpumpe durch Betriebsmittel. Es be- steht die Gefahr der Verunreinigung des Prozessvakuums und Schäden an der Vakuumpumpe bis hin zu deren Zerstörung.
  • Seite 24: Lagerung

    – Heben Sie die Ringschraube für die spätere Verwendung auf. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
  • Seite 25: Installation

    Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.
  • Seite 26: Hochvakuumseite Anschließen

    ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 1500 C 9800 Nm...
  • Seite 27: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden

    Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschütterungen Sicherheitsverbindungen, kundenseitig 5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches.
  • Seite 28: Einbaulagen

    Installation 5.2.5 Einbaulagen HINWEIS Zerstörung der Vakuumpumpe durch Misachtung der typenspezifischen Raumlage Unzulässige Raumlagen führen zur Verschmutzung der Vakuumpumpe durch Betriebsmittel. Es be- steht die Gefahr der Verunreinigung des Prozessvakuums und Schäden an der Vakuumpumpe bis hin zu deren Zerstörung. ► Beachten Sie die Aufkleber über die gültige Raumlage auf der Vakuumpumpe. ►...
  • Seite 29: Iso-K Flansch An Iso-K Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube Verbindung mit Klammerschraube 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.
  • Seite 30: Abb. 10: Flanschverbindung Iso-K Zu Iso-F, Sechskantschraube Und Gewindeboh

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
  • Seite 31: Iso-F Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Befestigen Sie die Turbopumpe gemäß der Abbildung mit Zentrierring am Gegenflansch. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.
  • Seite 32: Betriebsmittel Einfüllen

    Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe.
  • Seite 33: Vorvakuumseite Anschließen

    Installation Abb. 17: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: Standard Ver- sionen Richtung des Hochvakuumanschlusses Abb. 18: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: U-Versionen Richtung des Hochvakuumanschlusses Vorgehen 1. Schrauben Sie die jeweils höher gelegene Einfüllschraube aus der Betriebsmittelpumpe heraus. 2.
  • Seite 34: Abb. 19: Beispiel Für Den Vorvakuumanschluss

    Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann. Set- zen Sie zum Erreichen des Vorvakuumdrucks eine geeignete Vakuumpumpe oder einen Pumpstand aus dem Pfeiffer Vacuum Portfolio ein. In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B.
  • Seite 35: Zubehör Anschließen

    2. Achten Sie auf die vorhandene Konfiguration bestehender Anschlüsse und Steuerleitungen. 3. Schließen Sie nur passende Zubehörgeräte an die Antriebselektronik an. 4. Verwenden Sie den Y-Verteiler aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm, falls Sie mehrere Geräte (max. 3) anschließen wollen. Zusätzliches Zubehör verwenden 1.
  • Seite 36: Elektrische Versorgung Anschließen

    Installation 5.7 Elektrische Versorgung anschließen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen Schlag. Unsachgemäßer Anschluss der Netzversorgung führt zu der Gefahr berührbarer, spannungs- führender Gehäuseteile. Es besteht Lebensgefahr. ► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand. ►...
  • Seite 37: Elektrischen Anschluss Herstellen

    Installation Abb. 20: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehensweise 1. Verwenden Sie ein geeignetes Erdungskabel, um applikative Störeinflüsse abzuleiten. 2. Führen Sie den Anschluss nach den lokal geltenden Bestimmungen durch. 3. Verwenden Sie den Erdungsanschluss der Turbopumpe (M4 Innengewinde). 5.7.3 Elektrischen Anschluss herstellen WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag aufgrund nicht sachgerechter Installation Das Gerät verwendet berührungsgefährliche Spannung als elektrische Versorgung.
  • Seite 38 Sie haben 2 Möglichkeiten, den Netzanschluss für die Turbopumpe auszulegen. ► Achten Sie auf die gültige Versorgungsspannung. ► Bestellen Sie ein passendes Netzanschlusskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehör. ► Konfektionieren Sie das Netzanschlusskabel unter Verwendung der Anschlussbuchse HAN 3A aus dem Lieferumfang.
  • Seite 39: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 40: Betriebsarten

    Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes ermöglicht die Steuerung der Turbo- pumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Anzeige- und Bediengerät verwenden 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräten die dazuge- hörende Betriebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center.
  • Seite 41: Betrieb Über Anschluss "E74

    ► Verbinden Sie das Netzkabel mit dem betreiberseitigen Versorgungsnetz oder schalten Sie das Netz ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. 41/66...
  • Seite 42: Temperaturüberwachung

    Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤ 60 min Grün Ein, invers blitzend "Pumpstand EIN", Solldrehzahl nicht erreicht Ein, konstant "Pumpstand EIN", Solldrehzahl erreicht Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min Gelb keine Warnung Ein, konstant Warnung kein Fehler, keine Warnung...
  • Seite 43: Tab. 13: Werkseinstellungen Für Verzögertes Fluten Bei Turbopumpen

    Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
  • Seite 44: Wartung

    6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an das zuständige Pfeiffer Vacuum Service Center.
  • Seite 45: Betriebsmittel Wechseln

    Wartung 7.3 Betriebsmittel wechseln WARNUNG Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitsschädlichen Stoffen Das Betriebsmittel und Teile der Turbopumpe enthalten möglicherweise giftige Substanzen aus den gepumpten Medien. ► Dekontaminieren Sie betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten. ► Verhindern Sie Gesundheitsgefährdungen oder Umweltbelastungen durch entsprechende Si- cherheitsvorkehrungen.
  • Seite 46: Betriebsmittel Einfüllen

    ► Befüllen Sie die Turbopumpe mit Betriebsmittel erst nach der mechanischen Installation. ► Befüllen Sie die Turbopumpe mit Betriebsmittel nur über eine der durch ein Ölkannen-Symbol gekennzeichnteten Einfüllschrauben. ► Wenden Sie sich im Falle von Unsicherheiten an Pfeiffer Vacuum. Benötigtes Verbrauchsmaterial ● Betriebsmittel F3, 50 ml Benötigte Werkzeuge...
  • Seite 47: Antriebselektronik Austauschen

    Wartung Abb. 22: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: Standard Ver- sionen Richtung des Hochvakuumanschlusses Abb. 23: Position der Einfüllschrauben abhängig von der Einbaulage. Beispiel: U-Versionen Richtung des Hochvakuumanschlusses Vorgehen 1. Schrauben Sie die jeweils höher gelegene Einfüllschraube aus der Betriebsmittelpumpe heraus. 2.
  • Seite 48: Antriebselektronik Demontieren

    Wartung HINWEIS Sachschaden durch elektrostatische Entladungen Die Nichtbeachtung der elektrostatischen Gefährdung von elektronischen Komponenten führt zu de- ren Beschädigung oder Zerstörung. ► Stellen Sie ESD-Schutzmaßnahmen am Arbeitsplatz sicher. ► Beachten Sie DIN EN 61340 "Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene".
  • Seite 49: Antriebselektronik Montieren

    Wartung Antriebselektronik abnehmen 1. Halten Sie die gültige Raumlage ein, wenn Sie die Turbopumpe ausgebaut haben. 2. Schrauben Sie die Innensechskantschrauben M4 × 12 und M4 × 65 heraus, die die Antriebselekt- ronik an der Turbopumpe fixieren. 3. Achten Sie auf die Zahnscheibe. 4.
  • Seite 50: Drehzahlvorgabe Bestätigen

    Tab. 14: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Benötigte Hilfsmittel ● Ein angeschlossenes Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät. ● Kenntnis der Konfiguration und Einstellung von Betriebsparametern der Antriebselektronik. Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl 1. Beachten Sie die Betriebsanleitung des Anzeige- und Bediengeräts.
  • Seite 51: Außerbetriebnahme

    2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit einem fusselfreien Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
  • Seite 52: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
  • Seite 53: Störungen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Seite 54 ● Antriebselektronik de- ● Tauschen Sie die Antriebselektronik aus. fekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Turbopumpe läuft nicht an; ● Bei Betrieb ohne Be- ● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan grüne LED an der Antriebs- dieneinheit: Pin 1-3, der Antriebselektronik.
  • Seite 55: Tab. 15: Störungsbehebung Bei Turbopumpen

    Störungen Ungewöhnliche Betriebsge- ● Rotorlagerung ist be- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. räusche schädigt ● Rotor ist beschädigt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Splitterschutz oder ● Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Splitter- Schutzgitter lose schutzes oder Schutzgitters im Hochvakuumflansch.
  • Seite 56: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 57 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
  • Seite 58: Ersatzteile

    Ersatzteile 12 Ersatzteile Abb. 27: Ersatzteile Position Bezeichnung Größe Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 1200 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Gegenstecker "remote" PM 061 378 -X mit Lötbrücken Versorgungsbuchse HAN 3 PM 061 200 -T Relaisbox für Luftkühlung Sperrgasventil 17,5 – 20 sccm PM Z01 313 Injektionsspritze 50 ml...
  • Seite 59: Zubehör

    Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Anzeigegeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
  • Seite 60: Tab. 17: Zubehör | Hipace 1500 C

    TIC 010, Adapter für zwei Sensoren PT R70 000 RPT 010, Digitaler Piezo/Pirani Sensor PT R71 100 IKT 010, Digitaler Kaltkathoden-Sensor, Niedrigstromausführung PT R72 100 IKT 011, Digitaler Kaltkathoden-Sensor, Hochstromausführung PT R73 100 Tab. 17: Zubehör | HiPace 1500 C 60/66...
  • Seite 61: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Seite 62: Tab. 20: Technische Daten Für Hipace 1500 C

    IP20 Relative Luftfeuchte 5 – 85 %, nicht betauend 5 – 85 %, nicht betauend Transport und Lagertemperatur -25 – 55 °C -25 – 55 °C Gewicht 31,2 kg 31,2 kg Tab. 20: Technische Daten für HiPace 1500 C 62/66...
  • Seite 63: Medienberührende Werkstoffe

    Aluminiumlegierungen Edelstahl Seltene-Erden-Magnete Kohlefaserverstärkte Kunststoffe Epoxidharz Nickel Betriebsmittel (Esteröl) Oxidkeramik, ggf. Tab. 21: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 14.4 Abmessungen Maße in mm DN 250 ISO-F G1/8 G1/8" DN 40 ISO-KF 141.9 Abb. 28: Abmessungen HiPace 1500 C | DN 250 ISO-F 63/66...
  • Seite 64: Abb. 29: Abmessungen Hipace 1500 C | Dn 250 Iso-K

    Technische Daten und Abmessungen Ø290 Ø264 DN 250 ISO-K G1/8" G1/8" 141.9 DN 40 ISO-KF Abb. 29: Abmessungen HiPace 1500 C | DN 250 ISO-K 64/66...
  • Seite 65: Konformitätserklärung

    ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...

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