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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
HIPACE 10 NEO
Turbopumpe

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 10 NEO

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HIPACE 10 NEO Turbopumpe...
  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    5.2.5 ISO-KF Flansch an DN 40 befestigen Vorvakuumseite anschließen Zubehör anschließen Elektrische Versorgung anschließen 5.5.1 Vakuumpumpe erden 5.5.2 Elektrischen Anschluss herstellen Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 3/56...
  • Seite 4 Außerbetriebnahme Stillsetzen für längere Zeit Wiederinbetriebnahme Recycling und Entsorgung Allgemeine Entsorgungshinweise Turbopumpe entsorgen Störungen Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Ersatzteile HiPace 10 Neo Zubehör 13.1 Zubehörinformationen 13.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines 14.2 Technische Daten 14.3 Medienberührende Werkstoffe 14.4 Abmessungen...
  • Seite 5 Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen Tab. 10: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 11: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 12: Verfügbare Ersatzteile Tab. 13: Zubehör Tab. 14: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 15: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 16: HiPace 10 Neo Tab. 17: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 5/56...
  • Seite 6 Abb. 11: Betriebsmittelspeicher montieren Abb. 12: Betriebsmittelspeicher demontieren Abb. 13: Betriebsmittelspeicher montieren Abb. 14: Demontage und Montage der Antriebselektronik TC 80 Abb. 15: Ersatzteile HiPace 10 Neo Abb. 16: HiPace 10 Neo | TC 80 | DN 40 ISO-K 6/56...
  • Seite 7: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
  • Seite 8: Abkürzungen

    Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 1 Warnzeichen "Verletzungsgefahr bei offenem Hochvakuuman- Hinweis Erdungsanschluss schluss" 2 Verschlusssiegel Typenschild 3 Banderole mit Pfeiffer Vacuum Logo Hinweis Betriebsanleitung 1.3.3 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung...
  • Seite 9: Anweisungen Im Text

    Zu dieser Anleitung Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung gemäß ISO 1609 und ISO 2861 Leuchtdiode Funktionserde (functional earth) [P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki- gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt. Beispiel: [P:312] Softwareversion Schalter S1 am Netzteil Temperatur (in °C) Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller)
  • Seite 10: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
  • Seite 12 Sicherheit Risiken beim Betrieb WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten. ► Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu können.
  • Seite 13: Sicherheitsmaßnahmen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten...
  • Seite 14: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit Verletzung der Konformität durch Veränderungen am Produkt Die Konformitätserklärung des Herstellers erlischt, wenn der Betreiber das Originalprodukt verändert oder Zusatzeinrichtungen installiert. ● Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor deren Inbetriebnahme die Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden europäischen Richtlinien zu überprüfen und entsprechend neu zu bewerten.
  • Seite 15: Bestimmungsgemäße Verwendung

    ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 16: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
  • Seite 17: Produktbeschreibung

    3.1.3 Antrieb ● Antriebselektronik TC 80 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...
  • Seite 18: Produktmerkmale

    Produktbeschreibung 3.3 Produktmerkmale Merkmal Ausführung HV-Flansch DN 40 ISO-KF Flanschmaterial Aluminium Tab. 4: Merkmale der Turbopumpen 3.4 Lieferumfang ● Turbopumpe mit Antriebselektronik ● Blindflansch für Hochvakuumanschluss ● C-Klammer DN 40 ISO-KF, 2× ● Verschlussstopfen für den Vorvakuumanschluss ● Betriebsanleitung 18/56...
  • Seite 19: Transport Und Lagerung

    ► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
  • Seite 20: Installation

    Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.
  • Seite 21: Hochvakuumseite Anschließen

    Turbopumpe. Das Gesamtgewicht von Aufbauten darf die angegebenen Maxi- malwerte nicht überschreiten. Im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors müssen die auftretenden Drehmomente von der Anla- ge und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. Die Installationselemente für Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Maximal Maximal zulässige Ebenheit...
  • Seite 22: Feinsieb Verwenden

    ► Verwenden Sie bei ISO-Flanschen Zentrierringe mit integriertem Feinsieb. 5.2.4 Einbaulagen berücksichtigen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace Neo sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vorpumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich.
  • Seite 23: Iso-Kf Flansch An Dn 40 Befestigen

    Flanschverbindung für DN 40 auf DN 40 ISO-KF mit C-Klammer Hochvakuumanschluss herstellen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur den zugelassenen Befestigungssatz von Pfeiffer Vacuum. 2. Achten Sie auf saubere und unbeschädigte Dichtflächen. 3. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes.
  • Seite 24: Zubehör Anschließen

    Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online. Zubehörgeräte anschließen ● Verwenden Sie Pfeiffer Vacuum Zubehör über die AccessLink Buchsen oder den Multi- funktionsanschluss "X3" der Antriebselektronik mit entsprechenden Verbindungskabeln bzw. Adapter. ● Konfigurieren Sie den gewünschten Zubehörausgang über RS-485 mittels Steuergerät oder PC.
  • Seite 25: Elektrische Versorgung Anschließen

    Zusätzliches Zubehör verwenden ► Beachten Sie die Installationshinweise in den Betriebsanleitungen des betreffenden Zubehörs. ► Achten Sie auf die vorhandene Konfiguration bestehender Anschlüsse und Steuerleitungen. ► Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät mit integriertem Netzteil. 5.5 Elektrische Versorgung anschließen WARNUNG...
  • Seite 26: Elektrischen Anschluss Herstellen

    Installation Abb. 8: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels 1. Verwenden Sie den Anschluss Funktionserde der Turbopumpe (M4 Innengewinde). 2. Führen Sie den Anschluss nach den lokal geltenden Bestimmungen durch. 5.5.2 Elektrischen Anschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall.
  • Seite 27 5. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCout" am Netzteil und schließen Sie die Bajonettverriegelung. 6. Wenn Sie ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät verwenden: Schließen Sie den Anschluss "RS-485" mit passendem Verbindungskabel an das Steuergerät an. 27/56...
  • Seite 28: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 29: Betriebsarten

    Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Steuergeräts ermöglicht die Steuerung der Turbopumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Steuergerät verwenden 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Steuergeräten die dazugehörende Be- triebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center.
  • Seite 30: Turbopumpe Einschalten

    ► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. Symbol LED Status...
  • Seite 31: Ausschalten Und Fluten

    Gefahr von unkontrollierbaren Druckanstiegen. Mechanische Schäden an der Turbopumpe bis zum Ausfall sind die Folge. ► Halten Sie die vorgeschriebene maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit von 15 hPa/s ein. ► Vermeiden Sie manuelles und unkontrolliertes Fluten von sehr kleinen Volumina. ► Verwenden Sie ggf. ein Flutventil aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 31/56...
  • Seite 32: Tab. 9: Werkseinstellungen Für Verzögertes Fluten Bei Turbopumpen

    Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
  • Seite 33: Wartung

    6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle.
  • Seite 34: Betriebsmittelspeicher Austauschen

    Schmierung der Kugellager an beiden Enden der Rotorwelle. ● Entnehmen Sie dem Pumpentypenschild beim Austausch die korrekte Zuordnung von Pumpenartikelnummer und Betriebsmittelspeicher. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●...
  • Seite 35: Abb. 10: Betriebsmittelspeicher Demontieren

    Wartung Abb. 10: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Torxschrauben Betriebsmittelspeicher 2 Verschlussdeckel Kapillarstäbe (9×) 3 O-Ring Lagerfassung Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe, um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Entfernen Sie äußerliche Verunreinigungen von der Turbopumpe mit einem sauberen, fusselfrei- en Tuch. 3. Stellen Sie die Turbopumpe hochkant. 4.
  • Seite 36: Betriebsmittelspeicher Lagerseite 2 Wechseln

    Wartung Abb. 11: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Lagerfassung Torxschrauben 2 Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel 3 Kapillarstäbe (9×) O-Ring Einbaurichtung des Betriebsmittelspeichers beachten! Filzscheibe mit den zwei Nocken in Einbaurichtung gerichtet. Betriebsmittelspeicher montieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe, um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe mit der Pinzette ein. 3.
  • Seite 37: Abb. 12: Betriebsmittelspeicher Demontieren

    Wartung Abb. 12: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Torxschrauben Betriebsmittelspeicher 2 Verschlussdeckel Kapillarstäbe (9×) 3 O-Ring Lagerfassung Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe, um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Entfernen Sie äußerliche Verunreinigungen von der Turbopumpe mit einem sauberen, fusselfrei- en Tuch. 3. Stellen Sie die Turbopumpe hochkant. 4.
  • Seite 38: Antriebselektronik Austauschen

    Wartung Abb. 13: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Lagerfassung Torxschrauben 2 Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel 3 Kapillarstäbe (9×) O-Ring Einbaurichtung des Betriebsmittelspeichers beachten! Filzscheibe mit den zwei Nocken in Einbaurichtung gerichtet. Betriebsmittelspeicher montieren 1. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe, mit der Pinzette ein. 2. Setzen Sie den neuen Betriebsmittelspeicher mit der Pinzette in die Lagerfassung ein. 3.
  • Seite 39: Abb. 14: Demontage Und Montage Der Antriebselektronik Tc

    Wartung HINWEIS Sachschaden durch elektrostatische Entladungen Die Nichtbeachtung der elektrostatischen Gefährdung von elektronischen Komponenten führt zu de- ren Beschädigung oder Zerstörung. ► Stellen Sie ESD-Schutzmaßnahmen am Arbeitsplatz sicher. ► Beachten Sie DIN EN 61340 "Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene".
  • Seite 40: Drehzahlvorgabe Bestätigen

    5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Bestellen Sie für die Konfiguration von Austauschgeräten den Pfeiffer Vacuum SpeedCon- figurator (PM 061 812 -X) für die einmalige Soforteinstellung des Parameters [P:777].
  • Seite 41: Außerbetriebnahme

    1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
  • Seite 42: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
  • Seite 43: Störungen

    ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. Bei auftretenden Störungen finden Sie hier Hinweise auf mögliche Ursachen und deren Behebung. Eine detaillierte Fehlerbeschreibung befindet sich in der Betriebsanleitung der zugehörigen Antriebselektro-...
  • Seite 44 ● Rotor schwergän- 1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Ge- gig, Lager defekt räuschentwicklung 2. Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- vice. ● Sollwert Hochlauf- 1. Verlängern Sie den Sollwert der Hochlauf- zeit zu niedrig ein- zeit [P:700] über ein Anzeige- und Bedien- gestellt gerät.
  • Seite 45: Tab. 11: Störungsbehebung Bei Turbopumpen

    Störungen Ungewöhnliche Be- ● Rotorlagerung ist 1. Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- triebsgeräusche beschädigt vice. ● Rotor ist beschädigt 1. Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- vice. ● Splitterschutz oder 1. Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Schutzgitter lose Splitterschutzes oder Schutzgitters im Hoch- vakuumflansch.
  • Seite 46: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 47 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
  • Seite 48: Ersatzteile Hipace 10 Neo

    Ersatzteile HiPace 10 Neo 12 Ersatzteile HiPace 10 Neo Abb. 15: Ersatzteile HiPace 10 Neo 1 Antriebselektronik TC 80 Betriebsmittelspeicher 2 Kapillarstäbe O-Ring Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Antriebselektronik TC 80 siehe Typenschild 2, 3, 4 Betriebsmittelspeicher siehe Typenschild je 2× Tab. 12: Verfügbare Ersatzteile...
  • Seite 49: Zubehör

    OmniControl 200, Tischgerät mit integriertem Netzteil PE E50 000 0 OmniControl 200 mit TPR 270 PT 440 950 -T Befestigungssatz für HiPace 10 Neo, DN 40 ISO-K mit Schrauben und Pratzen PM 026 084 -T HPU 001, Handheld Programming Unit PM 051 510 -T Schnittstellenkabel RJ 45 auf M12 für HiPace...
  • Seite 50: Tab. 13: Zubehör

    TVV 001, Vorvakuum-Sicherheitsventil, 115 V AC PM Z01 206 Flutventil geschirmt, AccessLink, 24 V DC, G1/8" für HiPace 80 Neo PM Z01 295 Luftkühlung, geschirmt, für HiPace 10 Neo PM Z01 368 Abschlusswiderstand für RS-485 PT 348 105 -T Trennverbinder für RS-485...
  • Seite 51: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Seite 52: Medienberührende Werkstoffe

    5 – 85 %, nicht betauend Netzteil Lokation Externes Netzteil Temperatur: Lagerung -25 – 55 °C Temperatur: Versand -25 – 55 °C Gewicht 1,3 kg Tab. 16: HiPace 10 Neo 14.3 Medienberührende Werkstoffe Medienberührende Werkstoffe Aluminiumlegierungen Edelstahl Seltene-Erden-Magnete Kohlefaserverstärkte Kunststoffe Epoxidharz 52/56...
  • Seite 53: Abmessungen

    Medienberührende Werkstoffe Nickel Filz Betriebsmittel (Esteröl) Oxidkeramik, ggf. Tab. 17: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 14.4 Abmessungen DN 40 ISO-KF 6 inside M5 6.5 deep M5 6.5 deep Abb. 16: HiPace 10 Neo | TC 80 | DN 40 ISO-K Maße in mm 53/56...
  • Seite 54: Eg Konformitätserklärung

    ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Seite 55: Uk Konformitätserklärung

    ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...

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