Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
5.2.5 ISO-KF Flansch an DN 40 befestigen Vorvakuumseite anschließen Zubehör anschließen Elektrische Versorgung anschließen 5.5.1 Vakuumpumpe erden 5.5.2 Elektrischen Anschluss herstellen Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 3/56...
Seite 4
Außerbetriebnahme Stillsetzen für längere Zeit Wiederinbetriebnahme Recycling und Entsorgung Allgemeine Entsorgungshinweise Turbopumpe entsorgen Störungen Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Ersatzteile HiPace 10 Neo Zubehör 13.1 Zubehörinformationen 13.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines 14.2 Technische Daten 14.3 Medienberührende Werkstoffe 14.4 Abmessungen...
Seite 5
Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen Tab. 10: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 11: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 12: Verfügbare Ersatzteile Tab. 13: Zubehör Tab. 14: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 15: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 16: HiPace 10 Neo Tab. 17: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 5/56...
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 1 Warnzeichen "Verletzungsgefahr bei offenem Hochvakuuman- Hinweis Erdungsanschluss schluss" 2 Verschlusssiegel Typenschild 3 Banderole mit Pfeiffer Vacuum Logo Hinweis Betriebsanleitung 1.3.3 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung...
Zu dieser Anleitung Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung gemäß ISO 1609 und ISO 2861 Leuchtdiode Funktionserde (functional earth) [P:xxx] Steuerparameter der Antriebselektronik. Fettgedruckt als dreistellige Nummer in ecki- gen Klammern. Häufig in Verbindung mit einer Kurzbezeichnung angezeigt. Beispiel: [P:312] Softwareversion Schalter S1 am Netzteil Temperatur (in °C) Antriebselektronik der Turbopumpe (turbo controller)
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
Seite 11
Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
Seite 12
Sicherheit Risiken beim Betrieb WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag im Störungsfall Im Störungsfall stehen die mit dem Netz verbundenen Geräte möglicherweise unter Spannung. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponenten. ► Halten Sie den Netzanschluss immer frei zugänglich, um die Verbindung jederzeit trennen zu können.
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten...
Sicherheit Verletzung der Konformität durch Veränderungen am Produkt Die Konformitätserklärung des Herstellers erlischt, wenn der Betreiber das Originalprodukt verändert oder Zusatzeinrichtungen installiert. ● Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor deren Inbetriebnahme die Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden europäischen Richtlinien zu überprüfen und entsprechend neu zu bewerten.
● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
3.1.3 Antrieb ● Antriebselektronik TC 80 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...
► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.
Turbopumpe. Das Gesamtgewicht von Aufbauten darf die angegebenen Maxi- malwerte nicht überschreiten. Im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors müssen die auftretenden Drehmomente von der Anla- ge und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. Die Installationselemente für Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Maximal Maximal zulässige Ebenheit...
► Verwenden Sie bei ISO-Flanschen Zentrierringe mit integriertem Feinsieb. 5.2.4 Einbaulagen berücksichtigen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace Neo sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vorpumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich.
Flanschverbindung für DN 40 auf DN 40 ISO-KF mit C-Klammer Hochvakuumanschluss herstellen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur den zugelassenen Befestigungssatz von Pfeiffer Vacuum. 2. Achten Sie auf saubere und unbeschädigte Dichtflächen. 3. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes.
Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online. Zubehörgeräte anschließen ● Verwenden Sie Pfeiffer Vacuum Zubehör über die AccessLink Buchsen oder den Multi- funktionsanschluss "X3" der Antriebselektronik mit entsprechenden Verbindungskabeln bzw. Adapter. ● Konfigurieren Sie den gewünschten Zubehörausgang über RS-485 mittels Steuergerät oder PC.
Zusätzliches Zubehör verwenden ► Beachten Sie die Installationshinweise in den Betriebsanleitungen des betreffenden Zubehörs. ► Achten Sie auf die vorhandene Konfiguration bestehender Anschlüsse und Steuerleitungen. ► Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät mit integriertem Netzteil. 5.5 Elektrische Versorgung anschließen WARNUNG...
Installation Abb. 8: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels 1. Verwenden Sie den Anschluss Funktionserde der Turbopumpe (M4 Innengewinde). 2. Führen Sie den Anschluss nach den lokal geltenden Bestimmungen durch. 5.5.2 Elektrischen Anschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall.
Seite 27
5. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCout" am Netzteil und schließen Sie die Bajonettverriegelung. 6. Wenn Sie ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät verwenden: Schließen Sie den Anschluss "RS-485" mit passendem Verbindungskabel an das Steuergerät an. 27/56...
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Steuergeräts ermöglicht die Steuerung der Turbopumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Steuergerät verwenden 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Steuergeräten die dazugehörende Be- triebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center.
► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. Symbol LED Status...
Gefahr von unkontrollierbaren Druckanstiegen. Mechanische Schäden an der Turbopumpe bis zum Ausfall sind die Folge. ► Halten Sie die vorgeschriebene maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit von 15 hPa/s ein. ► Vermeiden Sie manuelles und unkontrolliertes Fluten von sehr kleinen Volumina. ► Verwenden Sie ggf. ein Flutventil aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 31/56...
Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle.
Schmierung der Kugellager an beiden Enden der Rotorwelle. ● Entnehmen Sie dem Pumpentypenschild beim Austausch die korrekte Zuordnung von Pumpenartikelnummer und Betriebsmittelspeicher. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●...
Wartung Abb. 10: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Torxschrauben Betriebsmittelspeicher 2 Verschlussdeckel Kapillarstäbe (9×) 3 O-Ring Lagerfassung Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe, um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Entfernen Sie äußerliche Verunreinigungen von der Turbopumpe mit einem sauberen, fusselfrei- en Tuch. 3. Stellen Sie die Turbopumpe hochkant. 4.
Wartung Abb. 11: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Lagerfassung Torxschrauben 2 Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel 3 Kapillarstäbe (9×) O-Ring Einbaurichtung des Betriebsmittelspeichers beachten! Filzscheibe mit den zwei Nocken in Einbaurichtung gerichtet. Betriebsmittelspeicher montieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe, um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe mit der Pinzette ein. 3.
Wartung Abb. 12: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Torxschrauben Betriebsmittelspeicher 2 Verschlussdeckel Kapillarstäbe (9×) 3 O-Ring Lagerfassung Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe, um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Entfernen Sie äußerliche Verunreinigungen von der Turbopumpe mit einem sauberen, fusselfrei- en Tuch. 3. Stellen Sie die Turbopumpe hochkant. 4.
Wartung Abb. 13: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Lagerfassung Torxschrauben 2 Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel 3 Kapillarstäbe (9×) O-Ring Einbaurichtung des Betriebsmittelspeichers beachten! Filzscheibe mit den zwei Nocken in Einbaurichtung gerichtet. Betriebsmittelspeicher montieren 1. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe, mit der Pinzette ein. 2. Setzen Sie den neuen Betriebsmittelspeicher mit der Pinzette in die Lagerfassung ein. 3.
Wartung HINWEIS Sachschaden durch elektrostatische Entladungen Die Nichtbeachtung der elektrostatischen Gefährdung von elektronischen Komponenten führt zu de- ren Beschädigung oder Zerstörung. ► Stellen Sie ESD-Schutzmaßnahmen am Arbeitsplatz sicher. ► Beachten Sie DIN EN 61340 "Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phänomene".
5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Bestellen Sie für die Konfiguration von Austauschgeräten den Pfeiffer Vacuum SpeedCon- figurator (PM 061 812 -X) für die einmalige Soforteinstellung des Parameters [P:777].
1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. Bei auftretenden Störungen finden Sie hier Hinweise auf mögliche Ursachen und deren Behebung. Eine detaillierte Fehlerbeschreibung befindet sich in der Betriebsanleitung der zugehörigen Antriebselektro-...
Seite 44
● Rotor schwergän- 1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Ge- gig, Lager defekt räuschentwicklung 2. Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- vice. ● Sollwert Hochlauf- 1. Verlängern Sie den Sollwert der Hochlauf- zeit zu niedrig ein- zeit [P:700] über ein Anzeige- und Bedien- gestellt gerät.
Störungen Ungewöhnliche Be- ● Rotorlagerung ist 1. Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- triebsgeräusche beschädigt vice. ● Rotor ist beschädigt 1. Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Ser- vice. ● Splitterschutz oder 1. Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Schutzgitter lose Splitterschutzes oder Schutzgitters im Hoch- vakuumflansch.
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
Seite 47
6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...