Inhaltsverzeichnis - Edwards APGX-M-NW16 AL Betriebsanleitung

Inhalt
Abschnitt
1 Einführung ......................................................................................... 1
1.1 Umfang und Definitionen ............................................................................................... 1
1.2 Beschreibung ............................................................................................................. 1
1.3 Gasabhängigkeit ......................................................................................................... 2
2 Technische Daten ................................................................................. 5
2.1 Mechanische Daten ...................................................................................................... 5
2.2 Leistung, Betriebs- und Lagerungsbedingungen ..................................................................... 5
2.3 Elektrische Daten ........................................................................................................ 5
2.4 Werkstoffe im Vakuum .................................................................................................. 6
3 Installation ......................................................................................... 9
3.1 Auspacken und Überprüfen ............................................................................................. 9
3.2 Anschluss der APGX an das Vakuumsystem .......................................................................... 9
3.3 Elektrische Anschlüsse .................................................................................................. 9
3.3.1 Anschluss an Edwards-Controller oder AGD-Display ................................................................ 9
3.3.2 Anschluss an Ihre eigene Stromversorgung und Steuereinrichtung .............................................. 10
4 Betrieb ........................................................................................... 11
4.1 Druckmessung ...........................................................................................................11
4.2 Einstellung des Schaltpunkts .......................................................................................... 12
4.3 Fehlerüberwachung .....................................................................................................13
5 Wartung .......................................................................................... 15
5.1 Atmosphären- und Vakuumeinstellung .............................................................................. 15
5.2 Reinigen des Filters .....................................................................................................15
5.3 Fehlersuche .............................................................................................................. 16
5.4 Kalibrierungsservice ....................................................................................................16
6 Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 17
6.1 Lagerung ................................................................................................................. 17
6.2 Entsorgung ............................................................................................................... 17
7 Ersatzteile und Zubehör ....................................................................... 19
7.1 Einführung ............................................................................................................... 19
7.2 Ersatzteile ............................................................................................................... 19
7.3 Zubehör .................................................................................................................. 19
Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen.
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D023-71-882 Issue E
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