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Inhaltsverzeichnis - Edwards nXLi-Serie Betriebsanleitung

Trockenlaufende vakuumpumpen
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1. Sicherheit und Compliance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2 Sicherheitssymbole. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2. Allgemeine Beschreibung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.1 Übersicht. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.2 Pumpencontroller. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.3 Schnittstellenschalttafel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.4 Logikschnittstelle. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.5 Automatischer Betrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.6 Aux-Anschlussbuchse. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.7 Konfiguration des Pumpen-Controllers. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3. Technische Daten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.1 Betriebs- und Lagerungsbedingungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
3.2 Leistung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
3.3 Gasen ausgesetzte Werkstoffe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.4 Spülgas-Spezifikation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.5 Elektrische Daten. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4. Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4.1 Sicherheit bei der Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4.2 Auspacken und Überprüfen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.3 Mechanische Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.4 Lecktest des Systems. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.5 Elektroinstallation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
4.6 Anschluss des Systems. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.7 Zusätzliche Sicherheitsvorrichtungen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
5. Inbetriebnahme der Pumpe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
6. Betrieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.1 Betriebssicherheit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.2 Betriebsmodi. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
4.5.1 Anschließen der Stromversorgung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.6.1 Spülgasanschluss. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.6.2 Anschluss für Fernsteuerung und Überwachung. . . . . . . . . . . . . . . . 22
6.2.1 Manueller Steuerungsmodus. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
6.2.2 Paralleler und serieller Steuerungsmodus. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
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