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Gasspülungen; Ferngesteuerter Betrieb Über Den 15-Poligen D-Anschluss - Edwards XDS35i Betriebsanleitung

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5.5.2 Gasspülungen
WARNUNG:
Wenn Stickstoffspülungen verwendet werden, um gefährliche Gase auf sichere Werte
zu verdünnen, müssen Sie sicherstellen, dass das System abschaltet, wenn die
Stickstoffversorgung der Pumpe ausfallen sollte.
Die folgenden Maßnahmen müssen ergriffen werden, um sicherzustellen, dass
verpumptes Gas außerhalb des zündfähigen Bereichs bleibt:
Die Spülung mit Inertgas muss abgeschaltet werden, um die Luft aus der Pumpe
und dem Auslass zu entfernen, bevor der Prozess startet. Den Spülfluss kann erst
am Prozessende ausgeschaltet werden, nachdem die zündfähigen Restgase oder -
dämpfe aus der Pumpe und der Abgasleitung gespült worden sind.
Falls Flüssigkeiten, die zündfähige Dämpfe erzeugen, in der Pumpenumwegleitung
vorliegen könnten, muss die Inertgasspülung der Pumpe so lange eingeschaltet
bleiben, wie diese Flüssigkeiten vorhanden sind. Zündfähige Flüssigkeiten könnten
aufgrund von Kondensation in der Vorvakuumleitung vorhanden oder aus dem
Prozess mitgerissen worden sein.
Berücksichtigen Sie bei der Berechnung des Durchsatzes des Inertgases für die
Spülung den maximalen Durchsatz der zündfähigen Gase/Dämpfe, die auftreten
könnten. Wenn Sie beispielsweise eine Massendurchsatzregelung einsetzen, um
zündfähige Gase in den Prozess zu leiten, sollten Sie von einem Durchsatz für
zündfähige Gase ausgehen, der bei vollständig geöffneter
Massendurchsatzsteuerung auftreten könnte. Der Inertgas-Durchsatz sollte
kontinuierlich gemessen werden. Sollte der Durchsatz unter den erforderlichen
Wert sinken, muss die Zufuhr des zündfähigen Gas- oder Dampfstroms zur Pumpe
gestoppt werden.
Sie erhalten das Handbuch P40040882 „Vacuum Pump and Vacuum System Safety"
(Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen) bei uns oder Ihrem Händler.
5.6 Ferngesteuerter Betrieb über den 15-poligen D-Anschluss
Die Pumpe kann über den an der Tafel an Seite der Pumpe angebrachten 15-poligen D-
Typ-Anschluss auch ferngesteuert betrieben werden.
Der 15-polige D-Anschluss ist isoliert, um sicherzustellen, dass er bei einem vereinzelten
Störfall geschützt bleibt.
Die folgenden Steueroptionen sind verfügbar:
Betrieb/Standby
Betrieb – (betreibt die Pumpe mit Standarddrehzahl 100 %)
Standby – (Pumpe läuft nicht, ist aber in Bereitschaft und wartet auf ein Fernsignal
zum Betrieb)
Leerlauf – (Pumpe läuft mit 67 % Drehzahl)
Boost – (Pumpe läuft zu 116 %) nur zum vorübergehenden Gebrauch (nicht für
Dauerbetrieb). Siehe Hinweis unten für weitere Informationen über diesen
Betriebszustand.
OK-Signal
A73001882_N
A73001882_N - Betrieb
Seite 26
03/2021 - ©Edwards Limited

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