Endvakuum Herstellen; Kondensierbare Dämpfe Pumpen; Pumpenöl Reinigen - Edwards E2M175 Betriebsanleitung

A346-01-882 Issue J
4.3

Endvakuum herstellen

Wenn die Pumpe nicht die in
Systemauslegung zurückzuführen ist. Setzen Sie sich erst dann mit Ihrem Händler oder direkt mit Edwards in
Verbindung. Entscheidend ist insbesondere, ob der Dampfdruck aller in Ihrem Vakuumsystem vorhandenen
Materialien, einschließlich des Pumpenöls, deutlich niedriger ist als das spezifizierte Endvakuum der Pumpe. In
Abschnitt 5.12.2 sind die möglichen Ursachen für eine reduzierte Systemleistung zusammengestellt. Meist ist die
verminderte Saugleistung auf folgende Ursachen zurückzuführen:
Ihr Druckmessverfahren bzw. Ihre Druckmesszelle ist für die vorgenommenen Messungen nicht geeignet, bzw.

die Druckmesszelle ist defekt.
Sie haben nicht die empfohlene Ölsorte verwendet, und der Dampfdruck des Öls ist höher als das

spezifizierte Endvakuum der Pumpe.
Verfahren Sie wie folgt, um das Endvakuum herzustellen:
1. Trennen Sie die Pumpe von Ihrem Vakuumsystem.
2. Drehen Sie das Gasballastventil vollständig gegen den Uhrzeigersinn (maximale Öffnung) und lassen Sie die
Pumpe mit dieser Einstellung mindestens 1 Stunde lang (oder über Nacht) laufen, um das Öl vollständig zu
reinigen.
3. Schließen Sie das Gasballastventil.
4. Öffnen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems und lassen Sie die Pumpe bis zum Erreichen des Endvakuums
eingeschaltet.
4.4 Kondensierbare Dämpfe pumpen
Wenn die Prozessgase kondensierbare Dämpfe in hohen Anteilen enthalten, muss die Pumpe mit Gasballast betrieben
werden. Dazu verfahren Sie wie folgt:
1. Schließen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems.
2. Drehen Sie das Gasballastventil vollständig gegen den Uhrzeigersinn (maximale Öffnung) und lassen Sie die
Pumpe für 30 Minuten laufen, um das Öl aufzuwärmen. Auf diese Weise minimieren Sie die Bildung von
Kondenswasser in der Pumpe.
3. Öffnen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems und lassen Sie die Pumpe mit geöffnetem Gasballastventil
laufen.
Nachdem Sie kondensierbare Dämpfe gepumpt haben, können Sie (sofern erforderlich) das Öl reinigen. Verfahren Sie
dazu, wie in Abschnitt 4.5
4.5 Pumpenöl reinigen
Das Pumpenöl sollte immer klar sein. Trübes oder verfärbtes Öl ist mit Prozessgasdämpfen verunreinigt.
1. Prüfen Sie die Beschaffenheit des Öls am Schauglas
ist, verfahren Sie, wie im Folgenden beschrieben.
2. Schließen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems.
3. Drehen Sie das Gasballastventil vollständig gegen den Uhrzeigersinn.
4. Lassen Sie die Pumpe laufen, bis klares Öl gefördert wird.
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Abschnitt 2 genannte Saugleistung erzielt, vergewissern Sie sich, dass dies nicht auf Ihre
beschrieben.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
(Abbildung 1, Position 9). Wenn das Öl trübe oder verfärbt
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