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Abb. 4:
1 Sicherheitsverbindung, kundenseitig
5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden
Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die
Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend
der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches.
Flanschgröße
Splitterschutz DN 100
Schutzgitter DN 100
Tab. 6:
Vorgehen
► Verwenden Sie bei ISO-Flanschen Zentrierringe mit Schutzgitter oder Splitterschutz.
► Setzen Sie bei CF-Flanschen Schutzgitter oder Splitterschutz immer mit den Klemmfahnen zum
5.2.4 Dämpfungskörper verwenden
Pfeiffer Vacuum Dämpfungskörper sind für den Einsatz an vibrationsempfindlichen Anlagen geeignet.
Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall
Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese
führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo-
pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren
Inneren durch den Raum schleudern. Potentiell gefährliche Gase können entweichen. Es besteht die
Gefahr von schwersten Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden.
► Ergreifen Sie bauseitig geeignete Sicherungsmaßnahmen zur Kompensation der auftretenden
► Halten Sie vor der Installation eines Dämpfungskörpers unbedingt Rücksprache mit Pfeiffer Va-
Dämpfungskörper einbauen
1. Installieren Sie einen Dämpfungskörper nur mit senkrechtem Durchgang.
2. Berücksichtigen Sie den Strömungswiderstand.
VACUUM CHAMBER
Beispiel: Sicherheitsverbindungen
Reduzierung des Saugvermögens bei Verwendung eines Splitterschutzes oder
Schutzgitters
Rotor weisend in den Hochvakuumflansch ein.
WARNUNG
Drehmomente.
cuum.
Reduziertes Saugvermögen in % für Gasart
H
He
2
5
7
2
2
Installation
1
N
Ar
2
24
24
10
8
23/62
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