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Produktbeschreibung
3 Produktbeschreibung
3.1 Funktion
Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Zur Spannungsversorgung
dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile.
Die Eigenschaftsbezeichnung "P" kennzeichnet prozessgeeignete Turbopumpen. Sie sind unempfind-
lich gegen Staub und korrosive Gase.
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Abb. 3:
1 Pumpengehäuse, Edelstahl
2 Turborotor
3 Hochvakuumanschluss, DN 100 CF-
4 Erdungsanschluss
5 Pumpenunterteil
6 Sperrgasanschluss
7 Flutschraube
8 Kühlwasseranschluss
3.1.1 Kühlung
● Wasserkühlung
● Luftkühlung (optional)
Die Antriebselektronik regelt die Antriebsleistung bei Übertemperaturen automatisch herunter.
3.1.2 Rotorlager
Hybridgelagerte Turbopumpe
● Hochvakuumseite: verschleißfreies Permanentmagnetlager
● Vorvakuumseite: Kugellager mit Keramikkugeln
Die dauerhafte Schmierung der Rotorlagerung auf der Vorvakuumseite gewährleistet ein Betriebsmittel-
speicher.
3.1.3 Antrieb
● Antriebselektronik TC 400
● Antriebselektronik TC 400
18/62
14
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9
11
10
Aufbau 300 P (Beispiel DN 100 ISO-K und DN 100 CF-F)
F
─ Betriebsspannung 24 V DC
─ Betriebsspannung 48 V DC
1
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6
7
8
9
Vorvakuumanschluss, DN 16 ISO-KF (mit Schutzde-
ckel)
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Anschlusspanel der Antriebselektronik
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Anschlussstecker Spannungsversorgung DCin
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LED-Betriebsanzeige
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Antriebselektronik TC 400
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Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss
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Pumpengehäuse, Aluminium
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3
5
4
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Fehlerbehebung
