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b
d
e
90
2
Anbringen der Halter
TIPP
Anbringen des Waferhalters
Die Kante der Waferhalteplatte a vorsichtig auf den Tisch aufsetzen.
1
2
Die Waferhalteplatte von oben einschieben, um ein Verkippen zu
verhindern.
Die Halter-Feststellschraube b an der linken Seite des Tisches mit
3
einem Schlitzschraubendreher anziehen.
HINWEIS
a
Anbringen des Maskenhalters
Den Maskenhalter c vorsichtig auf die Tischoberfläche aufsetzen
1
und darauf achten, dass er nicht gekippt wird. Anschließend die
Halter-Feststellschraube d an der linken Seite des Tisches mit
einem Schlitzschraubendreher anziehen, um den Maskenhalter zu
befestigen.
c
Anbringen der schwarzen Platte oder Glasplatte
1
Die Platte vorsichtig auf die Tischoberfläche aufsetzen und die Halter-
Feststellschraube an der linken Seite des Tisches anziehen.
HINWEIS
e
Einstellen der Ebenheit der Halteplatte
TIPP
Den Halter so anbringen, dass die Einkerbung an der Seite
des Halters nach links weist. In dieser Ausrichtung ist die
Ebenheit gewährleistet.
Die Ebenheit des Halters wird über die Höhe der drei
Schrauben an der Unterseite des Tisches justiert. Nicht
auf die Ränder des Halters drücken. Dadurch könnte der
Halter in eine Schräglage geraten.
Beim Anbringen der Glasplatte die Feststellschraube
nicht übermäßig stark anziehen, um zu verhindern, dass
die Glasplatte bricht. Die Schraube vorsichtig so fest
anziehen, dass die Glasplatte nach der Montage nicht
deutlich klappert.
Die Ebenheit der Tischbewegung und der Oberfläche
des Waferhalters wurden werkseitig voreingestellt. Wenn
jedoch eine Feinjustierung erforderlich ist oder ein nicht von
Olympus gefertigter Halter verwendet wird, ein paar Tropfen
Alkohol auf die Schrauben e auftragen, um die Schrau-
bensperre zu lösen. Anschließend die Schrauben mit einem
Schlitzschraubendreher nach oben und unten bewegen.
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