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200 mm/300 mm-KOMPATIBLE HALBLEITER-/
Diese Bedienungsanleitung bezieht sich auf die Montage und Einrichtung der Halbleiter-/FPD-
Inspektionsmikroskope
MX61/MX61L von Olympus.
umfassend vertraut machen können, zur Gewährleistung der Sicherheit und um eine optimale
Leistung des Mikroskops zu erzielen, empfehlen wir, diese Bedienungsanleitung vor dem Mikrosko-
pieren sorgfältig durchzulesen. Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum Nachschlagen an
einem leicht zugänglichen Ort in der Nähe Ihres Arbeitsplatzes auf, da sie zum Auswechseln der
Glühlampen und Sicherungen oder zum Verändern einer Einstellung benötigt wird.
MONTAGE-/SETUP-
MX61/MX61 L
FPD-INSPEKTIONSMIKROSKOPE
Damit Sie sich mit diesem Mikroskop
ANLEITUNG
A X 7 5 9 9
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Verwandte Anleitungen für Olympus MX61
Inhaltszusammenfassung für Olympus MX61
- Seite 1 FPD-INSPEKTIONSMIKROSKOPE Diese Bedienungsanleitung bezieht sich auf die Montage und Einrichtung der Halbleiter-/FPD- Inspektionsmikroskope MX61/MX61L von Olympus. Damit Sie sich mit diesem Mikroskop umfassend vertraut machen können, zur Gewährleistung der Sicherheit und um eine optimale Leistung des Mikroskops zu erzielen, empfehlen wir, diese Bedienungsanleitung vor dem Mikrosko- pieren sorgfältig durchzulesen.
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
NOMENKLATUR 8-10 MONTAGE 11-24 2-1 Montageübersicht ..................................... 11 2-2 Ausführliche Montageanleitung ........................12-22 2-3 Von Olympus installierte Module ........................23-24 Durchlichtmodul (MX-TILLA/TILLB) (Optional) Einrichten des Strahlengangs Graufilter für Auflicht (ND0.5) ZENTRIEREN DES QUECKSILBER-/XENONBRENNERS 25-26 STEUERUNG DES MIKROSKOPS VOM COMPUTER AUS... -
Seite 4: Sicherheitshinweise
UIS2 (UIS) Okularen, Objektiven, Beobachtungstuben usw. verwendet werden. Die Verwendung ungeeigneten Zubehörs kann zu Leistungsbeeinträchtigungen führen. Das Mikroskop MX61L eignet sich für einen Tisch-Verfahrweg von 300 mm (12 Inch) und das MX61 für einen Verfahrweg von 200 mm (8 Inch). - Seite 5 MX61/MX61L 5. Die Arbeitsplatte, auf der das Mikroskopsystem installiert wird, muss annähernd horizontal mit einem Neigungswinkel von weniger als 20° bei Modell MX61L bzw. weniger als 1° bei Modell MX61 (zur Vermeidung von spontanen Tisch- bewegungen) und stabil sein. (Das Gewicht des Mikroskopsystems in der Standard-Modulkombination beträgt bei Modell MX61L ca. 53 kg und bei Modell MX61 ca.
- Seite 6 Installationsbereich MX61 Einheit: mm MX61 Verfahrbereich des Tisches Installationsbereich Außenansicht, Einblickhöhe und Schwerpunkt MX61L Einheit: mm 338 (Schwenkwinkel 20°) Einblickhöhe Schwerpunktlage 112 (Schwerpunktsabmessungen) (Ansicht des Mikroskops von unten) (Hinweis) Bei der Schwerpunktlage handelt es sich um eine ungefähre Angabe, die sich auf die Ausstattung des Mikros- kops mit der Standard-Modulkombination für Durchlichtmikroskopie bezieht.
- Seite 7 ändern. 9. Um ein Umkippen des Mikroskopsystems zu vermeiden, darf die Gesamthöhe des Mikroskops bei montiertem Zube- hör (dazu zählen als Zubehör erhältliche Module von Olympus und die vom Kunden bereitgestellte CCD-Kamera) 1 m nicht übersteigen. Jedes Mikroskop verfügt über jeweils zwei Schraubenbohrungen (M5, Tiefe 10 mm) an den Seitenabdeckungen @ und an der Rückseite ²,...
- Seite 8 Sicherheitssymbole Folgende Symbole befinden sich an den Mikroskopen. Die Bedeutung der Symbole beachten und das Gerät immer in der sichersten Art und Weise handhaben. Symbol Erläuterung Die Oberfläche wird heiß. Nicht mit bloßen Händen berühren. Vor Gebrauch die Bedienungsanleitung sorgfältig durchlesen. Unsachgemäße Handhabung kann zur Verletzung des Anwenders und/oder Beschädigung der Ausrüstung führen.
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Seite 9: Vorbereitung
MX61/MX61L Vorbereitung 1. Aufstellungsorte, die dem direkten Sonnenlicht, hohen Temperaturen, Feuchtig- keit, Staub oder starken Erschütterungen ausgesetzt sind, sind zu vermeiden. (Zu den Betriebsbedingungen siehe Kapitel 8, „TECHNISCHE DATEN“, in der Bedienungsanleitung.) 2. Ein Mikroskop ist ein empfindliches Gerät. Mit Sorgfalt handhaben und gegen Erschütterungen und gewaltsame Einwirkungen schützen. - Seite 10 FCC (Federal Communications Commission) Diese Geräte wurden auf Übereinstimmung mit der folgenden FCC-Richtlinie geprüft: · FCC Part 15, Subpart B: Radio Frequency Equipment (Geräte, die Radiofrequenzen erzeugen, nutzen und abstrahlen) (im Bereich Handel und Industrie) HINWEIS: Dieses Gerät wurde getestet und entspricht Part 15 der FCC-Richtlinien für Obergrenzen von digitalen Geräten der Klasse A.
- Seite 11 }Die Abbildung zeigt Modell MX61L. }Die nachfolgend dargestellten Module dienen als Beispiel für ein typisches System. Bestimmte Module können auch verwendet werden, wenn sie unten nicht aufgeführt sind. Dazu die aktuellen Kataloge beachten oder bei Olympus nachfragen. Informationen zu den mit * gekennzeichneten Modulen sind in den separaten Bedienungsanleitungen zu finden.
- Seite 12 Tisch- und Haltersystem für Modell MX61 Drehbarer Waferhalter BH2-WHR43 (für 3- bis 4-Inch-Wafer) BH2-WHR54 (für 4- bis 5-Inch-Wafer) Platte für drehbare Waferhalter BH2-WHR65 (für 5- bis 6-Inch-Wafer) MX-WHPR86 (für 6- bis 8-Inch-Wafer) 5-Inch-Maskenhalter BH3-MH5 Platte für drehbare Waferhalter BH3-WHP6 4-Inch-Maskenhalter...
- Seite 13 MX61/MX61L Tisch- und Haltersystem für Modell MX61L Drehbarer Waferhalter für 8-Inch- 6-Inch-Maskenhalter Glasplatte und 12-Inch-Wafer MX-MH6 MX-SPG1412 MX-WHPR128 Tisch (14x12 Inch) MX-SIC1412R2...
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Seite 14: Montage
Tisch Hinweis 2) Dieser Anschluss ist nur für das Steuergerät MX-AFCB vorgesehen, das mit MX61L MX-SIC1412R2 einer aktiven AF-Einheit von Olympus verwendet wird. Keine anderen Module MX61 anschließen, um Funktionsstörungen zu vermeiden. MX-SIC8R }Das verwendete Werkzeug kann in den Bohrungen des mit dem Mikroskopstativ gelie- MX-SIC6R2 ferten Werkzeughalters aufbewahrt werden. -
Seite 15: Ausführliche Montageanleitung
MX61/MX61L 2-2 Ausführliche Montageanleitung Das System ist mit motorischen Teilen ausgestattet. Das Netzkabel erst einstecken, wenn alle Montageschritte abgeschlossen sind. Montieren des Tisches (Abb. 4 & 5) 1. Mit dem Sechskant-Steckschlüssel (3 mm) die Transportsicherung @ von der Hinterkante des Tisches entfernen. (Abb. 5) Die entfernten Schrau- ben werden für die Montage des Tisches verwendet. -
Seite 16: Anbringen Der Halter
Die Tischbewegung und die Oberfläche des Waferhalters wurden werkseitig horizontal ausgerichtet. Falls eine feinere Einstellung erfor- derlich ist oder ein Halter eines anderen Herstellers als Olympus ver- wendet wird, einige Tropfen Alkohol auf die Schrauben @ auftragen, um die Verriegelung der Schrauben zu lösen. Anschließend die Höhe der Schrauben durch Einführen eines flachen Schraubendrehers von unten... -
Seite 17: Anbringen Der Objektive
MX61/MX61L Anbringen der Objektive (Abb. 10) #Den motorischen Objektivrevolver niemals von Hand drehen. Andernfalls kann es zu Funktionsstörungen oder Beschädigungen kommen. Die Kappen von den Objektivaufnahmen abnehmen. 1. Die Objektive in der Reihenfolge der auf den Objektivaufnahmen @ angegebenen Ziffern 1 bis 5 oder 6 in die Objektivaufnahmen einschrau- ben, dabei mit dem schwächsten Objektiv beginnen. -
Seite 18: Einsetzen Der Okulare
Einsetzen der Okulare (Abb. 13) In jeden Okularstutzen vorsichtig ein Okular einsetzen. #Bei Verwendung des Binokulartubus U-BI30-2 kann kein Okular mit Okularmikrometerplatte verwendet werden. #Sucherokulare oder Okulare mit Mikrometerplatte gegebenenfalls in den rechten Okularstutzen einsetzen. ² Das Okular so einsetzen, dass dessen Positionierstift @ in die Nut ²... - Seite 19 MX61/MX61L ³ Anbringen des Lampenhauses ² (Abb. 17) 1. Das Lampenhaus @ bis zum Anschlag in die Lampenhausaufnahme an der Rückseite des Mikroskoparmes einführen. Das Lampenhaus so montieren, dass die Wärmeabgabeschlitze ² nach oben weisen. Zur Vermeidung von Brandgefahr auf genügend Freiraum über, unter und hinter dem Lampenhaus achten.
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Seite 20: Montieren Des Quecksilberbrenners
Montieren des Quecksilberbrenners (Abb. 18 bis 19) }Bei Verwendung des Xenonbrenners den Brenner anbringen, den Betriebs- stundenzähler zurücksetzen und die Kabel anschließen, wie in der Bedienungs- anleitung der in Gebrauch befindlichen Beleuchtungseinrichtung beschrieben. 1. Die Feststellschraube der Fassung @ mit dem Sechskant-Schraubendreher lösen. 2. -
Seite 21: Montieren Des Hochintensitäts-Lampenhauses
Graufilter verwenden (die Filter ND3 und ND6 sind als Zubehör erhältlich). }Der mit dem Lampenhaus gelieferte Filter ND0.5 darf nur von qualifiziertem Kundendienstpersonal der Firma Olympus montiert werden. Anschließen des Handschalters (U-HSTR2) (Abb. 21) Vor dem Anschließen oder Trennen des Handschalters stets darauf achten, dass das Netzkabel gezogen und der Hauptschalter aus- geschaltet ist („... -
Seite 22: Anschließen Des Netzkabels
Das mitgelieferte Netzkabel richtig anschließen und darauf achten, dass die Erdungsklemmen des Netzkabels und der dreiadrigen Wandsteckdose richtig verbunden sind. Wenn das Gerät nicht rich- tig geerdet ist, übernimmt Olympus keine Garantie für die elektri- sche Sicherheit. 2. Den Netzkabelstecker | an eine dreiadrige Wandsteckdose ƒ an- schließen. -
Seite 23: Einstellen Der Dip-Schalter Und Der Preset-Schalter
MX61/MX61L Einstellen der DIP-Schalter und (Abb. 26) der PRESET-Schalter Einstellen der DIP-Schalter (Abb. 26) #Vor Beginn der Einstellung die Anschlüsse prüfen. }Vor dem Einstellen der DIP-Schalter @ den Hauptschalter des Mikros- kops ausschalten („ “). Die DIP-Schalter-Einstellungen werden beim Einschalten des Mikro- skops erkannt und übernommen. - Seite 24 Einstellen der Schalter AS (Aperture Stop) PRESET (Abb. 26) }Die Schalter AS PRESET ² werden verwendet, um für jedes Objektiv den AS-Wert (Blendenstufe) voreinzustellen, damit die Öffnung der Aperturblende gleichzeitig mit dem Objektivwechsel richtig eingestellt wird. Bei Dunkelfeldmikroskopie bleibt die Aperturblende automatisch geöffnet. Die Stellung der Schalter AS PRESET kann auch bei eingeschaltetem Mikroskop verändert werden.
- Seite 25 MX61/MX61L Zentrieren der Aperturblende (Abb. 27 bis 30) für Auflicht 1. Den Strahlengangwahlschalter @ auf Position „BF“ stellen. (Abb. 27) 2. Die Objektivwahltaste ³ oder | drücken (oder den Objektivwechsel über den Handschalter oder den Computer vornehmen), das 10X-Ob- jektiv in den Strahlengang einschwenken und das Objekt scharfstellen.
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Seite 26: Von Olympus Installierte Module
Die im folgenden Abschnitt beschriebenen Module werden von Olympus installiert und eingerichtet. Sie dürfen nicht vom Anwender installiert und/oder eingerichtet werden. # Bei der Installation hat das Personal von Olympus darauf zu achten, dass keine Fingerabdrücke oder Kratzer auf die Module gelangen. -
Seite 27: Optional) Einrichten Des Strahlengangs
MX61/MX61L (Optional) Einrichten des Strahlengangs }Wenn ein Auflichtfilter montiert werden soll, die Montage unmittelbar nach dem folgenden Montageschritt durchführen. (Siehe nächster Abschnitt.) … ƒ † ³ ² 1. Die Feststellschrauben an der oberen Abdeckung @ mit dem Sechskant-Schraubendreher (2 mm) lösen und die Abdeckung abnehmen. -
Seite 28: Zentrieren Des Quecksilber-/Xenonbrenners
ZENTRIEREN DES QUECKSILBER-/XENONBRENNERS Einschalten des Brenners Den Hauptschalter des Vorschaltgerätes für Quecksilberbrenner einschalten („ “). Der Bogen stabilisiert sich innerhalb von drei bis fünf Minuten nach dem Zünden. # Ein Quecksilber- oder Xenonbrenner vom Entladungstyp lässt sich aufgrund der Brennereigenschaften möglicherweise nicht gleich beim ersten Versuch einschalten. - Seite 29 MX61/MX61L Präzises Zentrieren des Spiegels ³ }Die Spiegelposition wurde vor der Lieferung werkseitig eingestellt und gesi- chert. Wenn eine präzisere Zentrierung des Spiegels gewünscht wird, können die folgenden Schritte unmittelbar an die in den vorhergehen- den Abschnitten beschriebenen Einstellungen angeschlossen werden.
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Seite 30: Steuerung Des Mikroskops Vom Computer Aus
STEUERUNG DES MIKROSKOPS VOM COMPUTER AUS }Das Mikroskop MX61/61L kann über ein RS-232C-Kabel mit einem Host-Computer verbunden werden, um eine seri- elle Kommunikation für die Steuerung des Mikroskops vom Computer aus zu ermöglichen. RS-232C Kommunikationsparameter }Die RS-232C Kommunikationsparameter sind festgelegt, wie unten gezeigt. -
Seite 31: Technische Einzelheiten Der Kommunikation
MX61/MX61L Technische Einzelheiten der Kommunikation Befehl und Antwort Das MX61/61L erhält einen Befehl vom Host-Computer (nachstehend als „Host” bezeichnet), führt einen dem Befehl entsprechenden Arbeitsvorgang durch und sendet die Antwort an den Host zurück. Nachstehend werden die vom Host an das MX61/61L übermittelten Anweisungen als Befehle und die vom MX61/61L an den Host übermittelten Anweisungen als Antworten bezeichnet. - Seite 32 Fall 3: wenn das Mikroskop eine andere Zeichenfolge empfängt, die nicht zu den Befehlen für das MX61/61L gehört Host MX61/61L Befehl senden Befehl <Erläuterung> Wenn das MX61/61L eine Zeichenfolge empfängt, bei der es sich nicht um einen Befehl für das MX61/61L handelt (an späterer Stelle beschrieben), kann das MX61/61L daraufhin keine Antwort senden.
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Seite 33: Liste Der Befehle
In der folgenden Tabelle sind die Befehle aufgeführt, die für das MX61/61L verwendet werden. Für die Befehle und die Antworten des MX61/61L wird der ASCII-Zeichensatz verwendet. Der Linefeed-Code <CR><LF> ist nach jedem Befehl erforderlich und wird nach jeder Antwort hinzugefügt. * Auf den folgenden Seiten werden die einzelnen Befehle detailliert beschrieben. -
Seite 34: Detailinformationen Zu Den Befehlen
Detailinformationen zu den Befehlen 1LOG 1LOG? Log-in Funktionen 1. Wechsel zwischen dem Fernsteuerungsmodus und dem Lokalbetrieb des MX61/61L. 2. Überprüfung des aktuellen Modus (Lokalbetrieb oder Fernsteuerung) des MX61/61L. Besondere Hinweise 1. Wenn sich das Mikroskop im Lokalbetrieb befindet, werden alle Befehle außer „1LOG IN“... - Seite 35 MX61/MX61L 1OB 1OB? Objektivwechsel Funktionen 1. Drehen des Objektivs an der angegebenen Objektivrevolverposition in die Lichtachse. 2. Überprüfung der aktuellen Objektivrevolverposition. Besondere Hinweise 1. Wird der Anforderungsbefehl 1OB 6 gesendet, während ein Objektivrevolver mit 5 Positionen in Gebrauch ist, tritt ein Fehler wegen eines unzulässigen Parameters auf.
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Seite 36: Einstellen Der Aperturblende
1EAS 1EAS? Einstellen der Aperturblende Funktionen 1. Einstellung der Aperturblende auf die vorgegebene Position. 2. Überprüfung der aktuellen Position der Aperturblende. Besondere Hinweise 1. Die Positionen der Apertublende werden als 0 (Minimum), 1550 (Zwischenstellung) und 3113 (Maximum) bezeichnet. 2. Wird eine Position außerhalb des vorgegebenen Bereichs (0 - 3113) festgelegt, wird ein unzulässiger Parameter erkannt und kein Arbeitsvorgang ausgeführt. -
Seite 37: Objektivwechsel/Einstellen Der Aperturblende
MX61/MX61L 1OBA Objektivwechsel/Einstellen der Aperturblende Funktionen Drehen des Objektivs an der angegebenen Objektivrevolverposition in die Lichtachse sowie Einstellen der Apertur- blende auf die vorgegebene Position. 2. Wird dieser Befehl während der Hellfeldmikroskopie gesendet, so wird die Apertublende auf die mit dem Schalter AS PRESET festgelegte Position eingestellt. -
Seite 38: Überprüfung Des Modulstatus
“ stellt ein Leerzeichen dar. Der Linefeed-Befehl <CR><LF> ist nach Befehlen erforderlich und nach jeder Antwort wird der Linefeed-Befehl <CR><LF> hinzugefügt. 1UNIT? Vorhandensein von Einrichtungen Funktionen 1. Überprüfung, ob Einrichtungen an das MX61/61L angeschlossen sind. Beschreibung der Befehle Befehl Beschreibung Antwort Ergebnis... -
Seite 39: Einstellung Des Überstrahlungsschutzes
Dieser Befehl wird verwendet, um diese anfängliche Einstellung zu ändern. 2. Die mit dem Befehl 1FPV ON für das MX61/61L vorgenommene Einstellung des Überstrahlungsschutzes erhält den Vorrang gegenüber der Einstellung des DIP-Schalters. Die Einstellung mithilfe des Befehls 1FPV... -
Seite 40: Liste Der Fehlercodes
Liste der Fehlercodes In der folgenden Tabelle sind die Fehlercodes, die Fehlerursachen und die entsprechenden Abhilfemaßnahmen aufgeführt. Wenn sich der Fehler auch nach Durchführung der Maßnahmen nicht beheben lässt, wenden Sie sich bitte an Olympus. Fehler Position Problem Ursache Abhilfemaßnahme... -
Seite 41: Externe Steuerung Des Objektivrevolvers
MX61/MX61L EXTERNE STEUERUNG DES OBJEKTIVREVOLVERS Verwendeter Anschluss HR212-10R-8SDL (HIROSE ELECTRIC) Beispiele für geeignete Stecker Gerader Typ: HR212-10P8PSAT Rechtwinkliger Typ: HR212-10LA8PSAT Anordnung der Pins und Signalbezeichnungen Alle Eingangs-/Ausgangssignale sind auf TTL-Ebene. Die Anordnung der Pins ist auf den jeweiligen Anschlüssen gezeigt. -
Seite 42: Verbrauchsmaterial
· USH-103OL 300 Std. (USHIO) · HBO103W/2 300 Std. (OSRAM) Xenonbrenner · UXL-75XB-A 200 Std. (USHIO) Halogenglühlampe · JCR12V-100WB (USHIO) für Beleuchtungs- 1000 Std. einrichtung mit Lichtleiter Sicherungen Geeignete Sicherungen: T3.15A(H)250V (LITTELFUSE 2153.15) Immersionsöl Immersionsöl von Olympus, 8 cc/50 cc/500 cc... -
Seite 43: Auswahl Des Passenden Netzkabels
Wenn kein Netzkabel mitgeliefert wurde, wählen Sie bitte gemäß den technischen Daten ein mit einem Prüfzeichen versehenes Netzkabel aus der nachfolgenden Tabelle aus: VORSICHT: Olympus leistet keine Gewähr für Schäden, die durch die Verwendung von nicht geprüften Netzkabeln in Verbindung mit Geräten von Olympus entstehen. - Seite 44 Tabelle 2 Flexibles Kabel PRÜFORGANISATIONEN UND MARKIERUNGSART FÜR DAS HARMONISIERUNGSZEICHEN Weitere mögliche Markierung Aufgedrucktes oder aufgepräg- mit schwarz-rot-gelben Ringen tes Harmonisierungszeichen (am (Länge der Farbmarkierung in Prüforganisation Stecker oder an der Isolierung angebracht) Schwarz Gelb Comité Electrotechnique Belge (CEBEC) CEBEC <HAR>...
- Seite 45 NOTIZEN...
- Seite 46 NOTIZEN...
- Seite 48 OLYMPUS CORPORATION Shinjuku Monolith, 3-1 Nishi-Shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo, Japan OLYMPUS EUROPA HOLDING GMBH Wendenstr. 14-18, D-20097 Hamburg, Germany Phone: +49 40 23 77 30, Fax: +49 40 23 77 36 47, E-mail: microscopy@olympus-europa.com OLYMPUS DEUTSCHLAND GMBH Wendenstr. 14-18, D-20097 Hamburg, Germany Phone: +49 40 23 77 30, Fax: +49 40 23 08 17, E-mail: mikroskopie@olympus.de...