Pfeiffer Vacuum HIPACE 1200 Betriebsanleitung Seite 12

Sicherheit
Risiken bei der Installation
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag
Das Berühren von offenliegenden und spannungsführenden Elementen erzeugt einen elektrischen
Schlag. Unsachgemäßer Anschluss der Netzversorgung führt zu der Gefahr berührbarer, spannungs-
führender Gehäuseteile. Es besteht Lebensgefahr.
► Kontrollieren Sie die Anschlussleitungen vor der Installation auf spannungsfreien Zustand.
► Lassen Sie Elektroinstallationen nur von ausgebildeten Elektrofachkräften durchführen.
► Sorgen Sie für eine ausreichende Erdung des Geräts.
► Führen Sie nach Anschlussarbeiten eine Schutzleiterprüfung durch.
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag aufgrund nicht sachgerechter Installation
Das Gerät verwendet berührungsgefährliche Spannung als elektrische Versorgung. Durch unsichere
oder nicht sachgerechte Installation entstehen lebensgefährliche Situationen durch elektrischen
Schlag im Umgang mit dem Gerät.
► Sorgen Sie für die sichere Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis.
► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung
Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal-
ter) ausgestattet.
► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2.
► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor.
Gefahr von Schnittverletzungen an beweglichen, scharfkantigen Teilen bei Eingriff in den offe-
nem Hochvakuumflansch
Bei offenem Hochvakuumflansch ist der Zugang zu scharfkantigen Teilen möglich. Eine manuelle
Rotation des Rotors vergrößert die Gefahrensituation. Es besteht die Gefahr von Schnittverletzun-
gen, bis hin zum Abtrennen von Körperteilen (z. B. Fingerkuppen). Es besteht die Gefahr des Ein-
zugs von Haaren und losen Kleidungsstücken. Hineinfallende Gegenstände zerstören die Turbopum-
pe im späteren Betrieb.
► Entfernen Sie die original Schutzdeckel erst unmittelbar vor dem Anschluss des Hochvakuumf-
► Greifen Sie nicht in den Hochvakuumanschluss.
► Tragen Sie Schutzhandschuhe während der Installation.
► Nehmen Sie die Turbopumpe nicht mit offenen Vakuumanschlüssen in Betrieb.
► Führen Sie die mechanische Installation immer vor dem elektrischen Anschluss aus.
► Verhindern Sie den Zugang zum Hochvakuumanschluss der Turbopumpe von der Betreiberseite
Gefahr von Schnittverletzungen durch unvorhergesehenen automatischen Hochlauf
Das Verwenden von Gegensteckern für die Antriebselektronik (Zubehör), ermöglicht den sofortigen
Hochlauf der Vakuumpumpe nach Herstellen der Spannungsversorgung. Das Aufstecken von Ge-
gensteckern vor oder während der Installation führt zu der Gefahr von Schnittverletzungen an rotier-
enden scharfkantigen Teilen im offenliegenden Hochvakuumflansch.
► Verwenden Sie die Gegenstecker nur nach der mechanischen Installation.
► Schalten sie die Turbopumpe nur unmittelbar vor dem Betrieb ein.
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GEFAHR
WARNUNG
WARNUNG
WARNUNG
lanschs.
(z. B. offene Vakuumkammer).
WARNUNG