Varian TV 301SF Navigator Gebrauchsanleitung Seite 47

Vývěvu TV 301SF Navigator lze instalovat v libovolné poloze.
Vývěvu TV 301SF Navigator upevněte v nějaké stabilní poloze
a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě,
která snese torzní moment 1000 Nm kolem své osy.
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a
příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a
příchytek pro každé příchytné zařízení a příslušný utahovací
moment.
PŘÍRUBA PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
ISO 100 Spony M10
Příchytky M8
Viz podrobný popis v příloze "Technické informace".
POZNÁMKA
Vývěvu TV 301SF Navigator nelze připevnit pomocí její
podstavy.
!
VAROVÁNÍ
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 301SF Navigator
do druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení
připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Vývěva TV 301SF Navigator je vybavena vstupními a
výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci,
které se musí připojit k externím obvodům tak, aby žádná
elektrická součást nebyla přístupná.
Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 301SF
Navigator byla přiměřená i v případě
směrnice EN 61010-1.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 120 °C.

VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
!
VAROVÁNÍ
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu
(např. N , Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technické
2
informace").

VÝSTRAHA!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
POČET UTAHOVACÍ
MOMENT
4 22 Nm
8 11 Nm
jediné poruchy podle
všechna elektrická a
Zapnutí a používání vývěvy TV 301SF Navigator
Pro uvedení vývěvy TV 301SF Navigator do provozu je nutné
přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje
blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do
provozu.
První spuštění vývěvy je v režimu "pozvolného rozběhu".
Jakmile bude rozběhový cyklus dokončen, režim "pozvolného
rozběhu" se automaticky vypne a další starty již budou probíhat
bez "pozvolného rozběhu". Chcete-li opět zapnout režim
"pozvolného rozběhu",
programovým příkazem (viz odstavec "POPIS KOMUNIKACE
RS 232/485" v příloze "Technické informace").
Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy
TV 301SF Navigator indikuje provozní stavy systému blikáním:
•
bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
•
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu "čekání na
blokování";
•
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Vypnutí vývěvy TV 301SF Navigator
Pro vypnutí vývěvy TV 301SF Navigator je nutné přerušit síťové
napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví.

Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla
Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka
dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně
schválenou). Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně
uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým
proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES.
Vysoké napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné
zranění, i smrtelné. Před prováděním zásahů údržby uvnitř
jednotky přívodní kabel odpojte.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy TV 301SF Navigator v nouzové
situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky.
ÚDRŽBA
Vývěìva TV 301SF Navigator nevyžaduje žádnou údržbu.
Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné
osoby.

Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení
výměnou za porouchané.
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za
repasovaný kus, musíte list
bezpečnost)
přiložený k tomuto návodu vyplnit a odeslat do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
42
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
musíte jej aktivovat
VÝSTRAHA!
VÝSTRAHA!
POZNÁMKA
"Health and Safety" (Zdraví a
87-900-957-01(D)
patřičným