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ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte der
Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatz-
dokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch teilweise- der
enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschul-
tes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einhei-
mischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die
Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V2000HT handelt es sich um Tur-
bomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen.
Sie eignen sich zur Förderung von jeder Art von Gasen oder gashalti-
gen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder
Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsdrehturbine
(max. 33000 U/Min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrom-
motor angetrieben wird. Die Turbo-V2000HT -Pumpen enthalten kei-
nerlei umweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch für
Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für
die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufge-
führt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical
Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise fol-
gendermaßen hervorgehoben:
!
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf
eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung
schwere Verletzungen hervorrufen können.
!
ACHTUNG
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener
darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage
entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text
hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Tur-
bomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisun-
gen zu beachten:
•
Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung
der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten
werden:
•
Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
•
Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)
•
Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang
bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen.
•
Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate
ab dem Speditionsdatum.
!
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte
Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden.
Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Varian Vertre-
ter.
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Even-
tuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Verkaufs-
stelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt oder
Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist voll-
ständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für Um-
weltschutz.
!
3
GEBRAUCHSANLEITUNG
!
ACHTUNG
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die
in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen Händen an-
gefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten
Schutz tragen.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre ausge-
setzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur
Installation
auf
der
Anlage
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
!
GEFAHR!
Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe nur mit entsprechend
geeigneten Geräten angehoben und transportiert werden. Zu die-
sem Zweck sind die dafür vorgesehenen Ringschrauben zu ver-
wenden, die in die Gewindebohrungen M8 am Pumpengehäuse
einzuschrauben sind.
Überprüfen, dass die Pumpe für die betreffende Anwendung ge-
eignet ist. Die Pumpe wurde für den Gebrauch in PVD-
Pumpsystemen und im Allgemeinen für Anwendungen, bei denen
ein "sauberes" Vakuum erforderlich ist, konzipiert. Für anderweiti-
ge Anwendungen ist mit Varian Vacuum Technologies oder mit
Ihrem Lieferanten Rücksprache zu halten.
!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage
!
geschlossen
bleiben,
ACHTUNG
!
.
87-900-914-01(F)
um
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