Inhaltsverzeichnis
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Tabellen
Tabelle
1
Betriebs- und Lagerbedingungen ...................................................................................... 5
2
Allgemeine Daten ........................................................................................................ 5
3
Leistungsdaten ........................................................................................................... 6
4
Typische Abpumpzeiten der XDS35iE ................................................................................. 7
5
Allgemeine mechanische Daten ....................................................................................... 7
6
Elektrische Daten ........................................................................................................ 7
7
Empfohlene Schutzvorrichtung der regionalen Stromversorgung ................................................ 7
8
Empfohlene Kabelsätze ................................................................................................. 8
9
Status der Pins auf dem Anschluss der Logikschnittstelle ........................................................18
10
Wartungsplan ............................................................................................................ 20
11
Magnetventile ...........................................................................................................28
Verbundene Publikationen
Titel der Publikation
Vacuum Pump and Vacuum System Safety
(Vakuumpumpen und Sicherheit von Vakuumsystemen)
Betriebsanleitung für das Tip Seal-Ersatzteil-Kit
Betriebsanleitung zum Austausch von Umwegventilen
Warenzeichen
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex,
RH15 9TW, Vereinigtes Königreich.
© Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
A730-01-882 Issue L
Nummer der Publikation
Seite
P400-40-882
A730-01-840
A730-01-860
Seite iii
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