Wartungsplan; Kontrollieren Und Reinigen Der Einlassfilter - Edwards XDS46i series Betriebsanleitung

A731-01-882 Issue E
Die thermischen Zersetzungsprodukte von fluorierten Materialien, die sich in der Pumpe befinden können,

wenn diese auf Temperaturen über 260 °C erhitzt wurde, dürfen weder berührt noch eingeatmet werden.
Fluorierte Materialien sind im Normalgebrauch unbedenklich, können sich jedoch beim Erhitzen auf über
260 °C in sehr gefährliche Substanzen zersetzen, die möglicherweise Fluorwasserstoff enthalten. Die
Pumpe kann überhitzen, wenn sie für andere als die zulässigen Zwecke genutzt wurde oder wenn sie Feuer
ausgesetzt war. Sicherheits-Datenblätter für die in der Pumpe verwendeten fluorierten Stoffe sind auf
Anfrage erhältlich. Wenden Sie sich hierzu an Ihren Lieferanten oder an Edwards.
5.2

Wartungsplan

Der in Tabelle 9 gezeigte Plan enthält die zur Aufrechterhaltung eines reibungslosen Pumpenbetriebs notwendigen
routinemäßigen Wartungs- und Instandhaltungsarbeiten. Anleitungen zu den einzelnen Wartungsarbeiten finden
Sie in den nachfolgenden Abschnitten.
Wenn Sie die Pumpe für korrosive bzw. kondensierbare Gase oder Dämpfe einsetzen, müssen Sie mit kürzeren
Wartungsintervallen rechnen.
Betrieb

Kontrollieren und Reinigen der Einlassfilter

Kontrollieren und Reinigen des Gasballastreglers
Reinigen der Außengebläseabdeckung
Austauschen der Tip Seals und Auslassventile
Prüfen von Motor und Antrieb
Auswechseln der Lager
5.3 Kontrollieren und Reinigen der Einlassfilter
Achten Sie bei jedem Trennen der Pumpe vom Vakuumsystem auf Folgendes:
Entfernen Sie alle Schmutzpartikel im Einlassfilter (im Einlassanschluss).

"Inspizieren Sie den Einlassfilter und reinigen Sie ihn bei Bedarf mit einer für die verpumpten Substanzen

geeigneten Reinigungslösung. Bringen Sie den Einlassfilter wieder an, bevor Sie die Pumpe wieder mit dem
Vakuumsystem verbinden.
1. Siehe Abbildung 5. Trennen Sie das Vakuumsystem vom Einlassanschluss der Pumpe (Ziffer 3) und entfernen Sie
die Baugruppe aus Zentrierring und Filter (Ziffer 1) sowie den O-Ring (Ziffer 2). Untersuchen Sie den Zentrierring
und den O-Ring. Wenn diese sauber sind, fahren Sie mit Schritt 5 fort. Wenn sie nicht sauber sind, fahren Sie mit
Schritt 2 fort.
2. Entfernen Sie den O-Ring (Ziffer 2) von der Baugruppe aus Zentrierring und Filter (Ziffer 1). Lassen Sie nicht zu,
dass der O-Ring mit der Reinigungslösung in Berührung kommt.
3. Waschen Sie die Baugruppe aus Zentrierring und Filter in einer geeigneten Reinigungslösung und lassen Sie sie
trocknen.
4. Wischen Sie den O-Ring bei Bedarf mit einem sauberen, trockenen und fusselfreien Tuch ab.
5. Bringen Sie die Baugruppe aus Zentrierring und Filter sowie den O-Ring wieder am Einlassanschluss an. Verbinden
Sie das Vakuumsystem wieder mit dem Einlassanschluss der Pumpe.
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Tabelle 9 - Wartungsplan
Häufigkeit
Jährlich
Jährlich
Jährlich
Jährlich oder nach Bedarf
15.000 Stunden
35.000 Stunden
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Siehe Abschnitt
5.3
5.4
5.5
5.6
5.7
Wenden Sie sich
an Edwards.