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B760-10-882 Issue B
Abbildung 6 - Schematische Darstellung eines typischen EXT406PX-Systems
1. Alternative Position für Belüftungsventil
2. Vakuumsystem
3. Hochvakuum-Messgerät
4. Ansaugsieb
5. EXT406PX-Pumpe
6. Belüftungsventil
7. PRX10-Spülgas-Drosselventil
8. Geregelte Spülgasversorgung
9. Rootspumpenanschlussventil
Die für die Pumpe erhältlichen Zubehörteile sind in
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10. Vakuum-Messgerät
11. Vorvakuumventil
12. Faltenbälge
13. Adsorptionsfalle (für nasslaufende Pumpe)
14. Vorvakuumpumpe
15. EXDC-Controller
16. Kühlungslüfter
17. Controller (z. B. TIC)
18. Ölnebelfilter
Abschnitt 7
aufgeführt und in
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Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Abbildung 9
dargestellt.
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