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INFICON Gemini MAG500 Gebrauchsanleitung Seite 17

Cold cathode gauge cold cathode pirani gauge
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Messbereich 0.667 ... 10 V (3MAx-xxx-xxxQ)
Druck p
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
1E–06
1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
0.0 0.5 1.0 1.5
p = 10
Gültig im Bereich
wobei
tina83d1-d
(2018-12)
2.0
2.5
3.0
3.5
0.667
Messsignal U [V]
(U-c)/1.33
1×10
7.5×10
1×10
mbar
c
12.66
p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)
4.0
4.5
5.0
5.5
6.0
6.5
7.0
U = c + 1.33 log p
-9
mbar < p < 1×10
-10
Torr < p < 7.5 ×10
-7
Pa < p < 1 Pa
Pa
10
12.826
7.5
8.0
8.5
9.0
9.5
10.0
-2
mbar
-3
Torr
Torr
Pa
mbar
torr
10.5
17

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