4.1.4
Wiederholgenauigkeit des Tastereinsatzwechsels
(bei 50 mm Tastereinsatz)
Automatischer Wechsel mit SCR200
Manueller Wechsel
4.2
Überlaufkräfte
4.2.1
Modul mit Standardkraft
Tastereinsätz-
länge
20 mm bei
typischem Überlauf
50 mm bei
typischem Überlauf
50 mm bei
typischem Überlauf
XY Achse
niedrige
Antastkraft (g)
45
20
25
Spezifi kation
max. 1,0 µm.
typisch 2,0 µm
XY Achse
hohe Kraft (g)
70
40
50
21
Achse Z+
(g)
490
490
1500