YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung Seite 218

(6) Lösen Sie die vier M4-Inbusschrauben der Halterung des Prozessfensters im Ausricht-
(7) Bauen Sie das neue Fenster ein und ersetzen Sie auch den O-Ring.
Die Position des O-Rings ist Abbildung 10.4 zu entnehmen. Drücken Sie den O-Ring fest in
die dafür vorgesehene Nut hinein.
Ausrichtflansch
Prozessfenster
O-Ring
Inbusschraube
(8) Achten Sie genau auf die korrekte Ausrichtung des Prozessfensters und installieren Sie es
in der originalen Einbaulage.
Ziehen Sie die Schrauben gleichmäßig fest.
(9) Nach Wiedereinbau des Prozessfensters ist der TDLS8000 ebenfalls wieder zu installieren.
10.4.3 Austauschverfahren für Prozessfenster (am Prozess-
angebrachte Prozessfenster.
HINWEIS
Überzeugen Sie sich vor dem Ausbau der Prozessfenster davon, dass der Prozess komplett
gestoppt ist und von der Umgebung isoliert ist, damit kein Prozessgas in die Atmosphäre
entweichen kann. Das Ausbauen eines Prozessfensters bei laufendem Prozess ist extrem
gefährlich!
VORSICHT
Gehen Sie bei der Handhabung der Prozessfenster äußerst behutsam vor, da sie aus
(1) Schalten Sie den TDLS8000 aus.
(2) Stoppen Sie die Spülgaszufuhr.
(3) Entfernen Sie die Spülgasverrohrung.
(4) Entfernen Sie den TDLS8000 vom Prozess (falls erforderlich, zunächst vom Prozess isolie-
ren, z.B. durch ein Prozessabsperrventil etc.).
(6) Prüfen Sie, ob das Prozessfenster erheblich von Verschmutzung betroffen ist und bauen
Sie es aus.
(7) Lösen Sie die sechs M5-Inbusschrauben der Halterung des Prozessfensters im Pro-
<10. Fehlersuche>
IM 11Y01D01-01D-E 1. Ausgabe: 31. Juli, 2015-00
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