Beschreibung - LEYBOLD TTR 91 N Gebrauchsanleitung

2 Beschreibung

Die Vakuumtransmitter TTR 91 N und TTR 96 N der THERMOVAC-Reihe verfügen über einen großen
Messbereich von 5 × 10
MEMS-Pirani-Siliziumchipsensor erfolgt.
Die THERMOVAC-Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N können in einer Vielzahl von Anwendungen als
eigenständige Einheit oder mit Graphix-Controllern (Kat.-Nr.: 230680V01, 230681V01, 230682V01) und den
Display-Controllern (Kat.-Nr.: 230001, 230024, 230025) eingesetzt werden. Alle THERMOVAC-Transmitter sind
abwärtskompatibel mit Graphix-, Display- und Center-Controllern.
Jeder Transmitter wird vor Verlassen des Werks einzeln über den gesamten Messbereich getestet. Ein Prüfbericht
ist in der Verpackung enthalten. Darüber hinaus wird jede Druckmessung des Transmitters innerhalb des
angegebenen Betriebstemperaturbereichs individuell temperaturkompensiert.
Die Transmitter sind mit bis zu drei mechanischen Relais ausgestattet, die zur Prozesssteuerung verwendet
werden können, zum Beispiel zur Schleusensteuerung von Ventilen oder Pumpen. Der analoge
Spannungsausgang kann mit externen Analoggeräten zur Druckanzeige oder zur Steuerung verbunden werden.
Sensortechnologie
Die Transmitter haben ein einzelnes MEMS-Pirani-Sensorelement
(MEMS = Micro-Elektromechanisches-System), dessen Messprinzip
auf der Messung der Wärmeleitfähigkeit basiert. Der MEMS-Pirani-
Sensor besteht aus einem Siliziumchip mit einem beheizten
Widerstandselement, der eine Oberfläche einer Kammer bildet. Die
andere Oberfläche der Kammer wird durch eine Abdeckung über dem
Chip gebildet. Aufgrund der Sensorgeometrie gibt es keine Konvektion
im Inneren der Kammer, weshalb der Sensor unempfindlich gegenüber
der Montageposition ist. Gasmoleküle werden nur durch Diffusion auf
das beheizte Element übertragen, wo der Wärmeverlust des Gases
gemessen wird. Das Sensorelement ist sehr robust und kann hohen
Beschleunigungskräften und Schockbelüftung widerstehen.
Anwendungen
Die Transmitter können in vielen verschiedenen Vakuumanwendungen z.B. in Industrieanwendungen, in der
Forschung und Entwicklung, in der Halbleiterbranche, der Analyse- und Beschichtungsindustrie eingesetzt werden:

Allgemeine Vakuumdruckmessung

Druckmessung in Vorvakuumleitungen und an Vorvakuumpumpen

Messung und Steuerung von Gasregelsystemen

Massenspektrometersteuerung

Aktivierung von UHV-Messgeräten

Systemprozesssteuerung

Erfassung von abnormalem Druck und Ergreifen angemessener Sicherheitsvorkehrungen unter
Verwendung von Relais-Sollwerten

Steuerung des Systemdrucks
Kat.-Nr.: 230045V02 und 230047V02 enthalten mit Parylene-HT® beschichtete Sensoren.
Parylene-HT® ist eine gleichmäßige Beschichtung mit ausgezeichneter Barrierewirkung gegenüber Gasen. Mit
Parylene-HT® beschichtete Sensoren bieten im Vergleich zu Standard-MEMS-Pirani-Sensoren eine bessere
Beständigkeit gegenüber verschiedenen korrosiven Gasen. Die Beschichtung bedeckt den gesamten Sensorchip,
einschließlich der Verdrahtung. Deshalb ist das einzige Material, das dem Prozessgas ausgesetzt wird, die
Parylene-HT®-Beschichtung. Bitte wenden Sie sich für weitere Informationen an den Anwendungs-Support.
Entsorgung
Die Transmitter TTR 91 N und 96 N werden gemäß der RoHS-Richtlinie gefertigt.
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Aus Umweltschutzgründen sollte der Transmitter am Ende der Lebensdauer nicht im normalen,
unsortierten Abfall entsorgt werden. Er sollte an einer geeigneten Sammelstelle oder Einrichtung
zur Verwertung oder zum Recycling entsorgt werden.
Parylene-HT® ist eine Marke von Specialty Coating Systems, Inc.
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bis 1.000 mbar, wobei die Messung auf Basis des Wärmeleitfähigkeitsprinzips aus einem
Achtung
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