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Dichtungen ersetzen
5‐24
Mechanik
1. Persönliche Schutzausrüstung anlegen.
2. Laserschutzfenster (1) mit einem sauberen fusselfreien Tuch
und einem Reinigungsmittel für Polycarbonat reinigen.
3. Glasfenster mit Isopropanoltüchern reinigen.
Wartungsintervall: Jährlich
Hilfsmittel, Werkzeuge, Materialien
■
Feuchte Reinigungstücher, Isopropanol (im Lieferumfang ent-
halten, Mat.-Nr. 359506).
Dichtung (Mat.-Nr. 2328074).
■
Hinweis
Der Hauptschalter kann eingeschaltet bleiben.
1
Dichtung
Prozesskammertüren
1. Persönliche Schutzausrüstung anlegen.
Hinweis
Die Dichtung besitzt einen u-förmigen Querschnitt. Die flache
Seite der Dichtung muss nach außen zeigen.
2018-02-08
Vorabversion
Fig. 90210
B1020de
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