Pfeiffer Vacuum HIPACE 800 H Betriebsanleitung Seite 61

14.3 Kennlinien
13
10
12
10
11
10
10
10
9
10
10 8
10 7
10 6
10 5
10 4
10 3
10 2
1
10
0
10
-1
10
Abb. 25:
14.4 Abmessungen
Maße in mm
N
2
Ar
He
H
2
0
10
Kompressionsverhältnis gegen Vordruck bei Gasdurchsatz = 0 | HiPace 800 H
Technische Daten und Abmessungen
1
10
foreline pressure [hPa ; mbar]
2
10
61/66