Pfeiffer Vacuum ATP 1603 M Betriebsanleitung Seite 53

22
30
1
Abb. 8: Abmessungen des Magnetventils Spülung
1 Anschluss an Pumpe
62
Abb. 9: Abmessungen des Einlassventils
1 1/8'' NPT Anschlussbuchse
2
83.8
2 Mögliche Drehung
1
Technische Daten und Abmessungen
65
53/56