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Abb. 8: Abmessungen Des Magnetventils Spülung; Abb. 9: Abmessungen Des Einlassventils - Pfeiffer Vacuum ATP 1603 M Betriebsanleitung

Magnetgelagerte turbopumpe
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22
30
1
Abb. 8:
Abmessungen des Magnetventils Spülung
1 Anschluss an Pumpe
62
Abb. 9:
Abmessungen des Einlassventils
1 1/8'' NPT Anschlussbuchse
2
83.8
2
Mögliche Drehung
1
Technische Daten und Abmessungen
65
53/56

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