Beschreibung; Funktion Und Aufbau Des Gerätes; Grundgerät - INFICON E3000 Handbuch

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Beschreibung

4.1 Funktion und Aufbau des Gerätes
4.2 Grundgerät
Der Ecotec E3000 besteht aus Grundgerät und Schnüffelleitung.
Der Ecotec E3000 kann Gase, die er durch die Schnüffelleitung eingesaugt hat, mit Hilfe ei-
nes selektiven Massenspektrometers nachweisen und quantifizieren.
Im Ecotec E3000 arbeiten:
 ein Quadrupol-Massenspektrometer als Nachweissystem
 ein Hochvakuumpumpensystem
 ein Einlasssystem für den Gasfluss
 elektrische und elektronische Unterbaugruppen für die elektrische Versorgung und die
Signalverarbeitung
Das Massenspektrometer arbeitet unter Hochvakuum, d.h. der Druck in dem Massenspek-
trometer muss immer unter 10
larpumpe mit Unterstützung einer Membranpumpe erzeugt.
Das Grundgerät wird im Folgenden nur noch „Gerät" genannt, wenn es den Sinn nicht ver-
fälscht.
Abb. 1: Vorderansicht
a
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b
Tragegriffe und Lüftungsöffnungen
c
Lautsprecher
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sein. Dieses Vakuum wird durch die Turbomoleku-
mbar
d
ECO-Check-Kalibrierleck
e
Lemo-Steckverbinder für Schnüffelleitung
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