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QMA401 Bedienungsanleitung
3.10
Kalibrierzyklus
Um die Genauigkeit des Analysators aufrecht zu erhalten, kann sich dieses Gerät selbst
kalibrieren und seine interne Referenz-Tabelle anhand der Messergebnisse abgleichen.
Dies wird wie folgt erreicht:
Der interne Feuchtegenerator erzeugt mit einem Permeationsrohr einen nominellen
Feuchtegehalt von 0,5, 5 oder 50 ppmv; dieser Wert ist bei der Bestellung nach Kundenvorgabe
festgelegt worden.
Die Kalibrierung wird in zwei Zyklenphasen durchgeführt. Zunächst zieht V1 für eine
Zeitdauer von 30 Sekunden an, um das trockene Probegas zur Sensorzelle zu leiten, was in
Abb. 40 durch den rot-markierten Pfad dargestellt ist.
HE1
DD
MFC
QCH
PS
Michell Instruments
DD
MG
V1
FC1
QCH
Trockenmittel-Einsatz
Massen-Durchflussregler
Sensorzelle
Drucksensor
Abb. 40
Kalibrierzyklus (Phase 1) – Fluss des trockenen
GASEINLASS
V2
FC2
MFC
PS
Bezeichnungen
MG
V1, V2, V3
HE1, HE2
FC1, FC2, FC3
Messgases
BETRIEB
HE2
V3
FC3
GASAUSLASS
Feuchte-Generator
Magnetventile
Wärmetauscher
Volumenstrom-Regler
43
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