Pfeiffer Vacuum HIPACE 700 Betriebsanleitung Seite 11

Risiken bei der Installation
GEFAHR
Lebensgefahr durch elektrischen Schlag
Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum
Todesfall.
► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz-
eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1
entspricht.
► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für Ableitströme gemäßgemäß
IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
► Verwenden Sie möglichst original Netzteile oder ausschließlich Netzteile, die den geltenden Si-
cherheitsbestimmungen entsprechen.
WARNUNG
Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung
Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal-
ter) ausgestattet.
► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2.
► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor.
WARNUNG
Verletzungsgefahr aufgrund nicht sachgerechter Installation
Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen gefährliche Situationen.
► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor.
► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis.
WARNUNG
Gefahr von Schnittverletzungen an beweglichen, scharfkantigen Teilen bei Eingriff in den offe-
nem Hochvakuumflansch
Bei offenem Hochvakuumflansch ist der Zugang zu scharfkantigen Teilen möglich. Eine manuelle
Rotation des Rotors vergrößert die Gefahrensituation. Es besteht die Gefahr von Schnittverletzun-
gen, bis hin zum Abtrennen von Körperteilen (z. B. Fingerkuppen). Es besteht die Gefahr des Ein-
zugs von Haaren und losen Kleidungsstücken. Hineinfallende Gegenstände zerstören die Turbopum-
pe im späteren Betrieb.
► Entfernen Sie die original Schutzdeckel erst unmittelbar vor dem Anschluss des Hochvakuumf-
lanschs.
► Greifen Sie nicht in den Hochvakuumanschluss.
► Tragen Sie Schutzhandschuhe während der Installation.
► Nehmen Sie die Turbopumpe nicht mit offenen Vakuumanschlüssen in Betrieb.
► Führen Sie die mechanische Installation immer vor dem elektrischen Anschluss aus.
► Verhindern Sie den Zugang zum Hochvakuumanschluss der Turbopumpe von der Betreiberseite
(z. B. offene Vakuumkammer).
WARNUNG
Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten
Anschlüssen
Plötzliches Verdrehen der Turbopumpe im Störungsfall führt zu Beschleunigungen von Anbauten. Es
besteht das Risiko von Beschädigungen und Leckagen an kundenseitigen Anschlüssen (z.B. Vorva-
kuumleitung). Der Austritt von Prozessmedien ist die Folge. Bei Prozessen mit toxischen Medien be-
steht Verletzungs- und Lebensgefahr durch Vergiftung.
► Halten Sie an der Turbopumpe anzuschließende Massen möglichst gering.
► Verwenden Sie ggf. flexible Leitungen für den Anschluss an der Turbopumpe.
Sicherheit
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