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Prozessgaseintritt
PS
OSG3
MB
TSA
DGR1
DP
7
4
2 5
1
8
4
Produktbeschreibung
Verwendung
Die Vakuumpumpen COBRA BC sind für die Verwendung im Bereich
der Mikroelektronik und vergleichbarer Bereiche ausgelegt.
Sie können zum Ansaugen von Gasen und Gasgemischen eingesetzt
werden.
WARNUNG
Bei der Anwendung giftiger, entflammbarer und/oder explosiver
Gase sicherstellen, dass das System in seiner Auslegung den
jeweils gültigen örtlichen und nationalen Sicherheitsvorschriften
entspricht und dass sämtliche gültigen Sicherheitsmassnahmen
befolgt werden.
Alle produktspezifischen Sicherheitsvorschriften müssen befolgt
werden.
Es dürfen keine festen Teilchen in die Vakuumpumpe gelangen. Bei
einem eventuellen Verfahrensfehler kann die Pumpe eine gewisse
Menge an Flüssigkeit ansaugen. Sollte die Pumpe Flüssigkeit angesaugt
haben, ist eine kurze Trockenzeit am Ende des Vorgangs notwendig.
BC 0600 F
0870767449 (De)
OSG4
TS2
MOT2
DP
DGR2
PSA
DGF
PRV
MB
3
6
Kühlwasserseintritt
MOT1
TS3
OSG1
Prozessgasaustritt
CWM
CWR
Kühlwassers-
austritt
N2 Eintritt
Die zulässige Höchsttemperatur des eingesaugten Gases hängt vom
Ansaugdruck und von der Art der angesaugten Gase ab. Je niedriger
der Ansaugdruck (Pa), desto höher darf die Temperatur des
eingesaugten Gases (TGas) sein.
Man kann für Luft die folgenden Hinweise in Betracht ziehen:
–
– Pa > 50 mbar, TGas < 80°C
– Pa < 50 mbar, TGas < 200°C
Die Vakuumpumpe ist für den Einsatz in einer potentiell nicht
explosionsgefährlicher Umgebung vorgesehen.
Was die Temperatur betrifft, so ist die Vakuumpumpe für eine
maximale 300 Liter Tankentleerung geeignet. Die Vakuumpumpe nicht
dauerhaft bei einem Druck von mehr als 150 (hPa) mbar betreiben.
Achtung! Der Betrieb bei > 150 (hPa) mbar darf nicht länger als 5 min
dauern. Für andere Anwendungen, wenden Sie sich an Ihre
Busch-Vertretung.
– Maximaler Eingangsdruck: 1 bar (abs).
– Bei voller Drehzahl der Vakuumpumpe, den Eingangsdruck von 300
(hPa) mbar nicht überschreiten.
Die Vakuumpumpe ist dicht bis zum Vakuumgrenzwert.
TSA Temperaturfühler PT100 (DP)
TS2 Temperaturschalter Motor
(MB)
TS3 Temperaturschalter Motor
(MB)
DGF Stickstoffdurchflussmesser,
Verdünnung
PS Stickstoffdruckschalter
PRV Stickstoffdruckminderer
PSA Druckschalter-Ablass
OSG1 Ölschauglas (DP)
OSG2 Ölschauglas (MB)
OSG3 Ölschauglas (MB)
MOT 1 Motor (DP)
MOT 2 Motor (MB)
CWR Kühlwasserregulierhahn
DGR 1 Stickstoffregulierhahn,
Verdünnung
DGR 2 Stickstoffregulierhahn,
Verdünnung
CWM Kühlwasser-
durchflussmesser
1
Sauganschluss
2
Gasauslass
3
Öl
4
Kühlwasser
5
Sperrgas
6
Motor
DP
Temperaturschalter
7
Angesaugtes medium
8
Schraubenrotor
9
Rootsrotor
Produktbeschreibung
Seite 7
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