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Referenzlasersteuerung
Der Laser strahlt einen konstanten Strahl von 633 nm mit einer stabilen Wellenlänge ab. Der Laser-
strahl a wird mit dem NIR-Strahl b gekoppelt, um das Interferometer zu passieren, bevor er wieder
entkoppelt d und vom Laserfeedbacksensor e analysiert wird. Ein Teil des Strahls wird am Polari-
sator b geteilt und von einem Intensitätssensor c zur Überwachung der Laserstrahlqualität erfasst.
Die Position und die durch den Linearantrieb f hervorgerufene Bewegungsfrequenz des Keils
verursachen eine wechselnde relative Phasenverschiebung des Laserlichts. Bei der Reflexion durch
den zweiten Polarisator d erzeugt diese Phasenverschiebung eine Wechselamplitude. Diese Wech-
selamplitude wird mit Hilfe des Laserfeedbacksensors e erfasst und liefert genaue Informationen über
die Geschwindigkeit und die (relative) Position des Keils. Das Feedbacksignal dient zur Steuerung der
Geschwindigkeit des Linearantriebs f und zur Festlegung der Prüfpunkte des NIR-Interferogramms.
a
H
G
Effektiver NIR-Strahlengang
NIR-Lichtquelle mit Ersatzlampe und motorbetriebenem Parabolspiegel
A
B
Erster Polarisator
Kompensator (Doppelrefraktor)
C
D
Feststehender doppelt brechender Keil
Beweglicher doppelt brechender Keil
E
F
Zweiter Polarisator
Probe
G
H
Detektor
Strahlengang des Referenzlasers
a
Laserausgangsfenster
Zweiter Polarisator (dient als Strahlteiler für den Laser)
b
c
Sensor für die Laserausgangsleistung
Erster Polarisator
d
e
Laserfeedbackdetektor
Linearantrieb zur Bewegung des Keils
f
15
LASER – 633 nm
F
b
+
E
D
c
4 Funktionsbeschreibung
f
e
C
B
+
d
NIRMaster Bedienungsanleitung, Version D
Ersatzlampe
A
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