Technische Daten; Spezifikationen - PI MP148D Benutzerhandbuch

10 Technische Daten

10 Technische Daten
In diesem Kapitel

Spezifikationen ............................................................................................................................. 33

Bemessungsdaten ........................................................................................................................ 35
Abmessungen............................................................................................................................... 36
Pinbelegung ................................................................................................................................. 37
10.1 Spezifikationen
10.1.1 Datentabelle
Bewegen
Aktive Achsen
Stellweg in X
Maximale
Geschwindigkeit in X
Rotatorisches
Übersprechen in θY bei
Bewegung in X
Rotatorisches
Übersprechen in θZ bei
Bewegung in X
Positionieren
Systemauflösung in X
Unidirektionale
Wiederholgenauigkeit in X
Kleinste Schrittweite in X
Integrierter Sensor
Sensorauflösung
Referenzschalter
N­565 NEXACT® Lineartisch
N­565.160 N­565.260
X X
13 mm 26 mm
10 mm/s 10 mm/s
50 µrad 100 µrad
50 µrad 50 µrad
N­565.160 N­565.260
0,5 nm 0,5 nm
50 nm 50 nm
0,003 µm 0,003 µm
PIOne: PIOne:
Inkrementeller Inkrementeller
Linearencoder Linearencoder
0,5 nm 0,5 nm
Optisch Optisch
MP148D
N­565.360
X
52 mm
10 mm/s
200 µrad
50 µrad
N­565.360
0,5 nm
50 nm
0,003 µm
PIOne:
Inkrementeller
Linearencoder
0,5 nm
Optisch
Version: 1.5.0
Toleranz
+80 %
+60 %
Toleranz
±100 %
typ.
33