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Inhaltsverzeichnis - Edwards Scroll-Pumpe nXDS6i Betriebsanleitung

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Inhaltsverzeichnis

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Inhalt
Abschnitt
1
Einführung .......................................................................................... 1
1.1
Umfang des vorliegenden Handbuchs ................................................................................ 1
1.2
Auswirkungen der ATEX-Richtlinie .................................................................................... 2
1.3
Allgemeine Beschreibung............................................................................................... 2
1.4
Pumpencontroller ....................................................................................................... 3
1.5
Logikschnittstelle ........................................................................................................ 4
1.6
Gasballastregler ......................................................................................................... 4
2
Technische Daten.................................................................................. 7
2.1
Betriebs- und Lagerbedingungen ...................................................................................... 7
2.2
Leistung ................................................................................................................... 7
2.2.1
Allgemeines............................................................................................................... 7
2.2.2
Pumpmedien ............................................................................................................. 8
2.2.3
Leistungsdaten ........................................................................................................... 8
2.3
Mechanische Daten ..................................................................................................... 11
2.3.1
Allgemeines.............................................................................................................. 11
2.3.2
Geräusch- und Vibrationsdaten....................................................................................... 11
2.3.3
Bauweise ................................................................................................................. 11
2.4
Elektrische Daten ....................................................................................................... 11
2.4.1
Stromkabel .............................................................................................................. 12
2.5
Technische Daten Logikschnittstelle ................................................................................ 12
2.6
LED-Anzeigen............................................................................................................ 14
3
Installation ....................................................................................... 15
3.1
Sicherheitshinweise .................................................................................................... 15
3.2
Überlegungen zur Systemkonzeption ................................................................................ 15
3.3
Auspacken und Eingangsprüfung ..................................................................................... 17
3.4
Aufstellen der Pumpe .................................................................................................. 17
3.4.1
Mechanische Befestigung .............................................................................................. 17
3.5
Anschluss an das Vakuumsystem ..................................................................................... 17
3.6
Elektroinstallation ...................................................................................................... 18
3.6.1
Sicherungen und Leistungsschalter .................................................................................. 18
3.6.2
Anschließen an die Stromversorgung ................................................................................ 19
3.6.3
Trennen der Pumpe von der Stromversorgung ..................................................................... 19
3.7
Anschluss für Fernsteuerung und Überwachung ................................................................... 19
3.7.1
Anschließen der Logikschnittstelle an die Steuereinrichtungen................................................. 19
4
Betrieb ............................................................................................ 21
4.1
Betriebsmodi ............................................................................................................ 21
4.2
Manueller Betrieb....................................................................................................... 21
4.2.1
Ein- und Ausschalten ................................................................................................... 22
4.2.2
Standby................................................................................................................... 22
4.3
Parallele Steuerung und Überwachung.............................................................................. 23
4.4
Analoge Drehzahlsteuerung ........................................................................................... 24
4.4.1
Hardwarekonfiguration ................................................................................................ 25
4.4.2
Betrieb ................................................................................................................... 25
4.5
Automatischer Betrieb ................................................................................................. 26
4.6
Verwenden des Gasballastreglers .................................................................................... 26
4.6.1
Gasballastregler ........................................................................................................ 26
4.7
Inbetriebnahme ......................................................................................................... 26
4.8
Erzielen des Endvakuums.............................................................................................. 27
4.9
Pumpen kondensierbarer Dämpfe.................................................................................... 27
© Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
A735-01-882 Issue F
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