HINWEIS: Fehler 205 wird manchmal behoben, wenn der Scan
des nächsten Jobs startet.
Schlittenfehler werden wie folgt behoben:
1.
Brechen Sie den Warnton ab, und warten Sie, bis das Symbol Bilder
werden heruntergeladen und das Wartesymbol zur
Fehlerprotokollierung ausgeblendet werden.
2.
Drücken Sie
Erneut hochfahren
3.
Falls der Fehler wieder auftritt, fahren Sie das System erneut hoch,
und wählen Sie dann im Menü WERKZEUGE die Option
, um festzustellen, ob ein Test fehlschlägt. Notieren Sie die
ausführen
Fehlercodenummer.
4.
Wenden Sie sich an Ihren örtlichen Wartungsdienst.
Drehvorrichtungsfehler (300 bis 399)
Eine Drehvorrichtung im Schlittensystem rotiert den Spiegel mit
einer sehr hohen Geschwindigkeit, um die Laserstrahlen auf die
Platte zu lenken.
Schlittenfehler werden in dem in
dargestellten Fenster Modulposition angezeigt, wobei das
Drehvorrichtungsmodul hervorgehoben wird.
Drehvorrichtungsfehler werden wie folgt behoben:
1.
Brechen Sie den Warnton ab, und warten Sie, bis das Symbol Bilder
werden heruntergeladen und das Wartesymbol zur
Fehlerprotokollierung ausgeblendet werden.
2.
Drücken Sie
Erneut hochfahren
3.
Falls der Fehler wieder auftritt, fahren Sie das System erneut hoch,
und wählen Sie dann im Menü WERKZEUGE die Option
, um festzustellen, ob ein Test fehlschlägt. Notieren Sie die
ausführen
Fehlercodenummer.
4.
Wenden Sie sich an Ihren örtlichen Wartungsdienst.
Umgebungsfehler (500 bis 599)
Die Systemsoftware überwacht konstant die Gerätetemperaturen, die
L
, um den Scanvorgang fortzusetzen.
Abbildung 5.3 auf Seite 5-7
, um den Scanvorgang fortzusetzen.
P
5-23
UXEL
LATESETTER
Diagnose
Diagnose