Pfeiffer Vacuum HiPace 300 Plus Betriebsanleitung Seite 35

13 Technische Daten und Maßbilder
13.1 Allgemeines
Grundlagen für Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen:
Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelastung.
● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5
● ISO 21360; 2007: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungs-
daten von Vakuumpumpen - Allgemeine Beschreibung"
● ISO 5302; 2003: "Vakuumtechnik - Turbomolekularpumpen - Messung der Lei-
stungscharakteristik"
● Enddruck: mit Testdom nach 48 Std. Ausheizdauer
● Gasdurchsatz: mit Wasserkühlung; Vorpumpe = Drehschieberpumpe (10 m
● Kühlwasserverbrauch: bei max. Gasdurchsatz, Kühlwassertemperatur 25 °C
● Integrale Leckrate: mit Helium-Konzentration 100 %, Messdauer 10 s
● Schalldruckpegel: Abstand zur Pumpe 1 m
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar
mbar 1
3
bar 1 · 10
Pa 0,01
hPa 1
kPa 10
Torr 1,33
mm Hg
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
mbar l/s
mbar l/s 1
3
Pa m /s 10
-2
sccm 1,69 · 10
Torr l/s 1,33
3
atm cm /s 1,01
bar Pa
-3
1 · 10 100
5
1 1 · 10
-5
1 · 10 1
-3
1 · 10 100
0,01 1000
-3
1,33 · 10 133,32
2
1 Pa = 1 N/m
3
Pa m /s sccm
0,1 59,2
1 592
-3
1,69 · 10 1
0,133 78,9
0,101 59,8
Technische Daten und Maßbilder
hPa kPa
1 0,1
1000 100
-3
0,01 1 · 10
1 0,1
10 1
1,33 0,133
Torr l/s atm cm
0,75
7,5
-2
1,27 · 10 1,67 · 10
1
0,76
3
/h)
Torr
mm Hg
0,75
750
-3
7,5 · 10
0,75
7,5
1
3
/s
0,987
9,87
-2
1,32
1
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