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MP130D
N-765 NEXACT® Versteller
Benutzerhandbuch
Version: 1.1.0
PI miCos GmbH, Freiburger Straße 30, 79427 Eschbach, Deutschland
Tel. +49 7634 5057-0, Fax +49 7634 5057-99, E-Mail info@pimicos.de, www.pi.de
Datum: 10.08.2016
Dieses Dokument beschreibt das folgende
Produkt:
N-765.060
Präzisions-Hubtisch, 6,5 mm Stellweg,
PIOne Linearencoder, 0,5 nm Auflösung,
25 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen
65 × 110 × 56 mm (B × L × H),
piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT®

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Inhaltszusammenfassung für PI N-765 NEXACT

  • Seite 1 25 N Druck- / Zugkraft, Abmessungen 65 × 110 × 56 mm (B × L × H), piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT® PI miCos GmbH, Freiburger Straße 30, 79427 Eschbach, Deutschland Tel. +49 7634 5057-0, Fax +49 7634 5057-99, E-Mail info@pimicos.de, www.pi.de...
  • Seite 2 PI®, PIC®, PICMA®, PILine®, PIFOC®, PIMag®, PiezoWalk®, NEXACT®, NEXLINE®, NanoCube®, NanoAutomation® © 2016 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor.
  • Seite 3 Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ................. 1 Begriffserklärung ......................2 Abbildungen ....................... 3 Mitgeltende Dokumente .................... 3 Handbücher herunterladen ..................3 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................. 5 Organisatorische Maßnahmen ................... 6 Produktbeschreibung Produktansicht ......................
  • Seite 4 Inbetriebnahme und Betrieb Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb..........27 Betriebsparameter ....................29 N-765 betreiben ....................... 29 Piezoaktoren des Antriebs entladen ................ 30 Wartung Allgemeine Hinweise zur Wartung ................31 Wartungsfahrt durchführen ..................31 N-765 reinigen ......................32 Störungsbehebung Allgemeine Hinweise zur Störungsbehebung ............33 Mögliche Ursachen und Behebung ................
  • Seite 5 In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet: VORSICHT Gefährliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Verletzungen.  Maßnahmen, um die Gefahr zu vermeiden. HINWEIS Gefährliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachschäden.  Maßnahmen, um die Gefahr zu vermeiden. N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 6 Der Linearencoder ist ein inkrementeller Sensor zur Erfassung von Lageänderungen. Die Signale des Sensors werden für die Rückmeldung der Achsenposition verwendet. Nach dem Einschalten des Controllers muss eine Referenzwertbestimmung durchgeführt werden, bevor absolute Zielpositionen kommandiert und erreicht werden können. Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 7 Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tatsächlichen Gegebenheiten abweichen. Auch fotografische Abbildungen können abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar. Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Produkt Dokument E-861 NEXACT® Servocontroller PZ205E User Manual PIMikroMove®...
  • Seite 8 4. Entnehmen Sie dem Abschnitt "User login for software download" in den Release News den Benutzernamen (user name) und das Kennwort (password). Handbücher herunterladen 1. Öffnen Sie die Website http://www.pi.de. 2. Klicken Sie auf Infothek. 3. Wenn Sie Benutzername und Kennwort für Ihr Produkt parat haben: a) Klicken Sie auf Login.
  • Seite 9  Benutzen Sie den N-765 nur bestimmungsgemäß und in technisch einwandfreiem Zustand.  Lesen Sie das Benutzerhandbuch.  Beseitigen Sie Störungen, die die Sicherheit beeinträchtigen können, umgehend. Der Betreiber ist für den korrekten Einbau und Betrieb des N-765 verantwortlich. N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 10  Installieren und bedienen Sie den N-765 nur, nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben. Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den N-765 installieren, in Betrieb nehmen, bedienen, warten und reinigen. Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 11 Geeignete Controller ........................10 Technische Ausstattung ....................... 10 Produktansicht Abbildung 1: N-765 Produktansicht Bewegte Plattform Kabel für Sensor- und Antriebsanschluss an den Controller Grundkörper Seitenabdeckung Der Pfeil in der Abbildung zeigt die positive Bewegungsrichtung. N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 12 3 Produktbeschreibung Produktbeschriftung Abbildung 2: Position der Produktbeschriftung am Versteller Abbildung 3: Position der Produktbeschriftung an der Sensorkupplung Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 13 1, 3 Konformitätszeichen CE Schutzleitersymbol, kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des N-765 (S. 17) Hinweis auf Laserstrahlung (S. 31) (hier: Sensorkupplung-Oberseite) Warnzeichen "Handbuch beachten!" (hier: Sensorkupplung-Oberseite) Warnzeichen und Werte für den Laser (S. 31) (hier: Sensorkupplung-Unterseite) N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 14 Der Versteller ist mit einem optischen Linearencoder ausgestattet. Die Auflösung entnehmen Sie der Tabelle im Abschnitt "Spezifikationen" (S. 37). Optische Linearencoder messen die Ist-Position direkt (Direktmetrologie). Fehler im Antriebsstrang, wie z. B. Nichtlinearität, Umkehrspiel oder elastische Deformation, können die Positionsmessung nicht beeinflussen. Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 15 1 mm vor der unteren Stellwegsgrenze angebracht ist. Dieser Sensor sendet ein TTL-Signal, das anzeigt, ob sich der Versteller auf der positiven oder negativen Seite des Referenzschalters befindet. Die Befehle, die das Referenzsignal verwenden, sind im Benutzerhandbuch des Controllers und / oder in den entsprechenden Softwarehandbüchern beschrieben. N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 17 2. Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste. 3. Überprüfen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Schäden. Bei Anzeichen von Beschädigungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an PI. 4. Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf für den Fall, dass das Produkt zurückgeschickt werden muss.
  • Seite 19 Verschmutzungen jeglicher Art, z. B. durch Staub, Öl, Schmiermittel oder Kondenswasser, machen den N-765 funktionsunfähig.  Halten Sie den N-765 frei von Schmutz und Kondenswasser. HINWEIS Fehlfunktion durch Strahlung! Strahlung (z.B. Röntgenstrahlung) macht den N-765 funktionsunfähig.  Schützen Sie den N-765 vor Strahlung. N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 20 Schäden durch ungeeignete Kabel! Ungeeignete Kabel können Schäden am N-765 und an der Elektronik verursachen.  Verwenden Sie für den Anschluss des N-765 an die Elektronik nur Kabel von PI. INFORMATION Für optimale Wiederholgenauigkeit müssen alle Komponenten fest miteinander verbunden sein.
  • Seite 21 Am N-765 befindet sich neben dem Kabelabgang eine Bohrung M4 zur Schutzleiterbefestigung. In der folgenden Abbildung ist diese Bohrung mit dem Schutzleitersymbol gekennzeichnet. Abbildung 4: N-765: Schutzleiteranschluss im Grundkörper Abbildung 5: Montage des Schutzleiters (Profilansicht) Grundkörper des N-765 Unterlegscheibe Sicherungsscheibe Schraube Kabelschuh Schutzleiter N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 22 3. Ziehen Sie die Schraube M4 mit einem Drehmoment von 1,2 Nm bis 1,5 Nm fest. 4. Stellen Sie sicher, dass der Übergangswiderstand an allen für die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen <0,1 Ω bei 25 A ist. Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 23 Optionen für das Befestigen des N-765 auf einer Unterlage Die Montagebohrungen des N-765 sind für folgende Befestigungsoptionen vorgesehen: Befestigungsoption Montagebohrungen, Details siehe „Abmessungen" (S. 40) Befestigen von oben mit Schrauben M3x16 Befestigen von unten mit Schrauben M4 N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 24 Werkzeug und Zubehör  Schrauben entsprechend der gewählten Befestigungsoption (siehe oben):  4 Schrauben M3x16 ISO 4762, im Lieferumfang (S. 10) oder  4 Schrauben M4 von geeigneter Länge, nicht im Lieferumfang  Geeigneter Schraubendreher Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 25 Der N-765 kann als Z-Versteller in Mehrachssystemen (XZ- oder XYZ-Kombinationen) verwendet werden (S. 22). Abbildung 6: Beispiel für ein XYZ-System: zwei N-565.260 und ein N-765 Oberer Versteller (hier: N-765) Mittlerer Versteller (hier: N-565.260) Unterer Versteller (hier: N-565.260) N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 26 Werkzeug und Zubehör  Schraubensatz 5870500002 aus dem Lieferumfang des N-765 (S. 10):  2 Zylinderstifte 3 m6 x 8 ISO 2338 zur Verwendung als Passstifte  4 Zylinderschrauben M3x16 ISO 4762  Geeigneter Schraubendreher Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 27 Ziehen Sie die Schrauben jeweils mit einem Drehmoment von maximal 0,5 Nm fest. f) Stellen Sie sicher, dass alle Schraubenköpfe vollständig abgesenkt sind. 4. Überprüfen Sie den festen Sitz des N-765 auf dem N-565. N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 28 Für das Befestigen der Last auf der bewegten Plattform sind mindestens drei Punkte vorgesehen. Werkzeug und Zubehör  Mindestens drei Schrauben geeigneter Länge. Optionen:  Schrauben M2  Schrauben M2,5  Schrauben M3  Geeignetes Werkzeug zur Befestigung der Schrauben Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 29 Schrauben M2: 4 mm Maximales Drehmoment:  Schrauben M3: 1,2 Nm  Schrauben M2,5: 0,7 Nm  Schrauben M2: 0,35 Nm 3. Überprüfen Sie den festen Sitz der Last auf der bewegten Plattform des Verstellers. N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 30 Verbinden Sie die Kupplungsseite des Adapters (HD D-Sub 15 (f)) mit dem Einbaustecker des Controllers (siehe Benutzerhandbuch des Controllers). 3. Sichern Sie die Steckverbindungen am Controller mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsichtigtes Abziehen. Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 31  Platzieren Sie keine Gegenstände in Bereichen, in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden können.  Halten Sie bei einer Fehlfunktion des Controllers die Bewegung sofort an.  Wenn möglich, passen Sie die Stellwegsgrenzen in der zur Bewegungskommandierung verwendeten Software an Ihr mechanisches System an. N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 32  Betreiben Sie den N-765 nur innerhalb der zulässigen Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen (S. 39). INFORMATION Stoßartige Krafteinwirkungen können eine Fehlfunktion des Encoders verursachen.  Vermeiden Sie stoßartige Krafteinwirkungen auf den Versteller.  Führen Sie eine Referenzfahrt durch (siehe Benutzerhandbuch des Controllers). Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 33 Bei Verwendung der im Lieferumfang des Controllers E-861.1A1 enthaltenen Software können die Betriebsparameter aus der Verstellerdatenbank PIMicosStages2.dat geladen werden.  Laden Sie sich den PI Update Finder von der PI Website (http://update.pi-portal.ws) herunter und aktualisieren Sie damit die Verstellerdatenbank PIMicosStages2.dat auf Ihrem PC.
  • Seite 34 2. Stellen Sie am Controller durch Senden eines RNP-Befehls die Piezospannung auf 0 V ein (siehe Benutzerhandbuch des Controllers). 3. Wenn möglich: Schalten Sie den Controller aus. 4. Warten Sie vor dem Abziehen des Steckers vom Controller mindestens 10 Sekunden. Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 35 Der Versteller kann durch falsche Wartung dejustiert werden. Dadurch können sich die Spezifikationen ändern (S. 37).  Lösen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in diesem Handbuch. Wartungsfahrt durchführen In Abhängigkeit von den Einsatzbedingungen und der Einsatzdauer des N-765 sind die folgenden Wartungsmaßnahmen erforderlich: N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 36 N-765 reinigen  Führen Sie keine Ultraschallreinigung durch.  Wenn notwendig, reinigen Sie die Oberflächen des N-765 per Wischreinigung mit einem Tuch, das leicht mit Isopropanol oder einem Gemisch aus Isopropanol und DI-Wasser angefeuchtet wurde. Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 37 Regelparameter. Unkontrollierte Schwingungen des 3. Wenn nötig, korrigieren Sie die N-765 Einstellungen der Regelparameter.   Kontaktieren Sie unseren Verringerte Haltekraft und Keramikschiene des NEXACT® Vorschubkraft Kundendienst (S. 35). Antriebs ist verschmutzt N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 38 (siehe Krafteinwirkung Benutzerhandbuch des Controllers) Wenn die Störung Ihres Systems nicht in der Tabelle angeführt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann, kontaktieren Sie unseren Kundendienst (S. 35). Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 39 9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI-Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (info@pi.de).  Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an:  Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System ...
  • Seite 41 Bewegung in Z Rotatorisches Übersprechen in θ µrad typ. bei Bewegung in Z Rotatorisches Übersprechen in θ µrad typ. bei Bewegung in Z Rotatorisches Übersprechen in θ µrad typ. bei Bewegung in Z N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 42 HD D-Sub 15 (m) Sensoranschluss D-Sub 15 (f) Empfohlene Controller / Treiber E-861.1A1, E-712 10.1.2 Bemessungsdaten Der Versteller ist für folgende Betriebsgrößen ausgelegt: Maximale Betriebsspannung Maximale Betriebsfrequenz Maximale Leistungsaufnahme 45 V 1500 Hz 20 W Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 43 -20 °C bis 60 °C Transporttemperatur -20 °C bis 60 °C Überspannungskategorie (gemäß EN 60664-1:2007 / VDE 0110-1) Schutzklasse (gemäß EN 61140 / VDE 0140-1) Verschmutzungsgrad (gemäß EN 60664-1:2007 / VDE 0110-1) Schutzart IP20 (gemäß IEC 60529) N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 44 10 Technische Daten 10.2 Abmessungen Abmessungen in mm. Zeichen, die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden:  Tiefe und Durchmesser von Bohrungen: Punkt  Alle anderen Maßangaben: Komma Abbildung 10: Abmessungen des N-765 Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 45 Digital GND ) Das Zeichen "-" zeigt an, dass der entsprechende Pin nicht belegt ist. ) Dieser Pin ist im Steckergehäuse mit GND verbunden. Im Controller E-861.1A1 wird dieser Pin zur Aktivierung der Verstärker verwendet. N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 46 Encodersignal 1 (Cosinus, invertiert) Ausgang SIN + Encodersignal 2 (Sinus) Ausgang SIN - Encodersignal 2 (Sinus, invertiert) Ausgang REF + Referenzschalter Ausgang * Das Zeichen "-" zeigt an, dass der entsprechende Anschluss nicht belegt ist. Version: 1.1.0 MP130D N-765 NEXACT® Versteller...
  • Seite 47 Ausgang SIN + Encodersignal 1 (Sinus) Ausgang COS - Encodersignal 2 (Cosinus, invertiert) Ausgang SIN - Encodersignal 1 (Sinus, invertiert) Ausgang * Das Zeichen "-" zeigt an, dass der entsprechende Pin nicht belegt ist. N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...
  • Seite 49 Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden, übernimmt die PI miCos GmbH kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI miCos-Altgerätes, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI miCos besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: PI miCos GmbH Freiburger Straße 30...
  • Seite 51 Für den N-765 wurde eine EG-Konformitätserklärung gemäß den folgenden europäischen Richtlinien ausgestellt: EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. Elektromagnetische Emission: EN 61000-6-3, EN 55011 Elektromagnetische Störfestigkeit: EN 61000-6-1 N-765 NEXACT® Versteller MP130D Version: 1.1.0...