Massenspektrometerversorgung Msv - Pfeiffer Vacuum SmartTest HLT 550 Wartungsanleitung

1.3.4.2 Massenspektrometerversorgung MSV

Anode on/ein
K2
Emission on/ein
Fig. 1-13 Massenspektrometerversorgung MSV
20
Diese Baugruppe erzeugt alle für den Betrieb des Massenspektrometers
notwendigen Spannungen und Ströme:
– Anoden-Heizspannung
– Katoden-Heizspannung
– Anodenspannung
– Suppressorspannung
Fehler im Massenspektrometer werden erkannt und an den MC 68 weitergeleitet.
Die Überwachung der Massenspektrometer-Versorgung erfolgt im MC 68.
Anode preheating
K1 Anode vorheizen
A
Cathode error
Katode Fehler
e -
F3=T1A
XP1
F1=T2A
Suppressor potential
Suppressor Potential
Cathode potential
Katodenpotential
Anode potential
Anodenpotential
F2=T3,15A
IKP
ISP +15V
IAP n.c. +24V -15V
XP2
F4=M0,032A