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Installation
5.7.3 Elektrische Schutzmaßnahmen einrichten
Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung
Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal-
ter) ausgestattet.
► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2.
► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor.
Netztrenneinrichtung installieren
1. Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung als Hauptschalter.
2. Spezifizieren Sie die Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2.
3. Verwenden Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10 kA.
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WARNUNG
Keine Notabschaltung
Die Vakuumpumpe ist nicht mit einer Notabschaltung (EMS) oder mit einer elektrischen
Verriegelung ausgestattet. Die Vakuumpumpe wurde für den Einbau in eine Anlage entwi-
ckelt, die bereits über eine Notabschaltvorrichtung verfügt.
● Bei Aktivierung muss diese Notabschaltvorrichtung der Anlage die Vakuumpumpe aus-
schalten.
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Fehlerbehebung
