Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 Betriebsanleitung Seite 6

Abbildungsverzeichnis
Abbildungsverzeichnis
Abb. 1:
Abb. 2:
Abb. 3:
Abb. 4:
Abb. 5:
Abb. 6:
Abb. 7:
Abb. 8:
Abb. 9:
Abb. 10: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung
Abb. 11: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung
Abb. 12: Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung
Abb. 13: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Gewindebohrung
Abb. 14: Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Durchgangsbohrung
Abb. 15: Beispiel für den Vorvakuumanschluss an HiPace 300
Abb. 16: Beispiel für den Zubehöranschluss über Adapter TCS 12
Abb. 17: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels
Abb. 18: Verbindung der Antriebselektronik mit einem Netzteil
Abb. 19: Betriebsmittelspeicher demontieren
Abb. 20: Demontage der Antriebselektronik TC 110
Abb. 21: Ersatzteile HiPace 300
Abb. 22: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-K
Abb. 23: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 ISO-F
Abb. 24: Abmessungen HiPace 300 | TC 110 | DN 100 CF-F
6/108
Position der Aufkleber auf dem Produkt
Aufbau HiPace 300
Beispiel: Sicherheitsverbindungen
Empfohlene Ausrichtung bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen
Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube
Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Sechskantschraube und Gewindeboh-
rung
Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung
Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung
Flanschverbindung ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung
8
17
22
23
23
24
24
25
25
25
26
26
27
27
28
29
30
31
38
39
46
51
52
52