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Einrichten und Betrieb 2. Spezifikationen
Parameter
Zuordenbarer Wert ( )
Standardwerte
MTBF
Sicherheitsstandard
*1: Beim PTP-Befehl. Die maximale Geschwindigkeit für den CP-Befehl beträgt 2,000 mm/s in der
horizontalen Ebene.
*2: Wenn der Massenschwerpunkt in der Mitte der 4. Achse liegt.
Wenn der Massenschwerpunkt nicht in der Mitte der 4. Achse liegt, stellen Sie den Parameter mithilfe des
Inertia-Befehls ein.
*3: Das Abluftsystem des Reinraum-Modell-Manipulators saugt Luft aus dem Inneren des Sockels und der
Armabdeckung.
Ein Riss oder eine andere Öffnung im Grundgerät kann den Verlust des negativen Luftdrucks im äußeren
Teil des Armes verursachen, was zu einem erhöhten Staubaustritt führen kann.
Entfernen Sie nicht die Wartungsabdeckung auf der Vorderseite des Sockels.
Dichten Sie den Abluft-Ausgang und den Abluft-Schlauch mit Vinyl-Klebeband ab, sodass der Anschluss
luftdicht ist.
Wenn der Abluft-Durchfluss nicht ausreichend ist, kann der Staubpartikel-Austritt den angegebenen
maximalen Grad überschreiten.
Reinheitsgrad: ISO-Klasse 3 (ISO14644-1)
Nach früheren Normen:
Staubmenge (Durchmesser 0,1 µm oder größer) in 28317 cm
des Arbeitsbereiches herum: 10 Partikel oder weniger.)
Abluftsystem:
Durchmesser Abluft-Ausgang:
Abluftschlauch
*4: Für die Messung müssen die folgenden Bedingungen für den Manipulator erfüllt sein:
Betriebsbedingungen : Unter Nennlast, 4-Achsen simultane Bewegung, maximale Geschwindigkeit,
Messpunkt
16
SPEED
ACCEL *5
SPEEDS
ACCELS
FINE
WEIGHT
Reinheitsklasse: 10 bzw. deren Entsprechung
Innendurchmesser: ø 12 mm / Außendurchmesser: ø16 mm
:
Polyurethan-Schlauch
Außendurchmesser: ø 12 mm (Innendurchmesser: ø 8 mm)
oder Innendurchmesser ø 16 mm oder größer
Empfohlene Abluft-Durchflussmenge: ca. 1000 cm
maximale Beschleunigung und 50 % Leistung.
: Gegenüber dem Manipulator, 1000 mm vom Arbeitsbereich entfernt, 50 mm
über der Installations-Oberfläche.
1 bis (5) bis 100
1 bis (10) bis 120
1 bis (50) bis 2000
1 bis (200) bis 25000
0 bis (10000) bis 65000
0130 bis (1130) bis 3130
3 Jahre
erfüllt ANSI/RIA R15.06 CE-konform
3
RS-Serie
(1 cft) Probeluft um den Mittelpunkt
3
/s (normal)
RS Rev. 3
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